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NTIS 바로가기주관연구기관 | 에피르 |
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연구책임자 | 윤규식 |
참여연구자 | 이규항 , 강주식 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2020-11 |
과제시작연도 | 2019 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO202200005743 |
과제고유번호 | 1415163905 |
사업명 | 소재부품기술개발(R&D) |
DB 구축일자 | 2022-07-30 |
키워드 | 레이저 간섭계.40nm급 반복정밀도.6자유도 변위측정.FPGA신호처리.임베디드 SW. |
3. 개발결과 요약
최종목표
· 40nm 반복정밀도의 6자유도 변위측정 체계 개발
· 1um 이하의 반복정밀도를 요구하는 레이저 가공장비, 측정분석 장비, 노광장비의 핵심공통 모듈 개발
· Heterodyne He-Ne 레이저 광원을 이용한 4축 광학 간섭계 및 광학계 개발
· 간섭 광 측정 및 증폭을 위한 아날로그 광수신 장치 개발
· 측정된 간섭 광의 위상변이를 변위 값으로 연산하는 SoC FPGA 기반의 연산 장치 개발
· 6축 이상의 측정 변위를 6자유도 변위로 맵핑하는 모델방정식 및 S
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