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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)마이크로프랜드 |
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연구책임자 | 이종면 |
참여연구자 | 홍석기 , 좌성훈 , 윤희용 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2020-02 |
과제시작연도 | 2019 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO202200006919 |
과제고유번호 | 1415162160 |
사업명 | 소재부품기술개발(R&D) |
DB 구축일자 | 2022-08-27 |
키워드 | 프로브.전기적검사.일체형.팬아웃.맴스. |
3. 개발결과 요약
최종목표
고집적 시스템 반도체를 위한 MEMS 공정기반 프로브와 공간변환(Space Transformer)가 일체형으로 구현된 50um 피치급 버티컬 프로브 카드 개발 및 상용화
개발내용 및 결과
50um Pitch 일체형 프로브카드 제작 및 제작 공적 최적화, 개발 기술을 적용한 제품 상용화 성공.
기술개발 배경
전자부품의 패키징 기술과 IoT 산업의 발달에 따라 메모리, 로직 소자 구분 없이 많은 수의 패드와 미세 피치가 등장함. 피치의 미세화와 함께 생산
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