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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)에프엔에스테크 |
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연구책임자 | 김팔곤 |
참여연구자 | 백동천 , 김형중 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2018-05 |
과제시작연도 | 2017 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
연구관리전문기관 | 한국산업기술평가관리원 Korea Evaluation Institute of Industrial Technology |
등록번호 | TRKO202200007236 |
과제고유번호 | 1415152092 |
사업명 | 소재부품기술개발 |
DB 구축일자 | 2022-09-03 |
키워드 | 화학적 기계적 연마.우레탄 패드.친수성 소재. |
3. 개발결과 요약
최종목표
새로운 기공 형성 기술을 도입하여 선진社와 동등하거나 뛰어난 (Removal Rate 3300Å/min 초과, Lot to Lot Removal Rate Uniformity 2%미만, Removal Rate Uniformity in Wafer 5%미만, 경도 52에서 62(Shore D) 범위, Pad Cut Rate 45㎛/h미만, 기공률 40%이상, Nitride Stop Oxide Dishing 250Å이하) ILD CMP용 Polyurethane Polishing Pad 개발
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