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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국생산기술연구원 Korea Institute of Industrial Technology |
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연구책임자 | 김백진 |
참여연구자 | 김광석 , 임한휘 , 한세미 , 박소람 , 한장우 , 최두영 , 김정필 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2020-11 |
과제시작연도 | 2020 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
과제관리전문기관 | 한국생산기술연구원 Korea Institute of Industrial Technology |
등록번호 | TRKO202300028819 |
과제고유번호 | 1711125030 |
사업명 | 한국생산기술연구원연구운영비지원(R&D)(주요사업비) |
DB 구축일자 | 2024-06-11 |
키워드 | 정전척.고분자-무기나노입자 하이브리드.정전기 접착력.전극용 물질.전극 패턴.electrostatic chuck (ESC).polymer-inorganic hybrid.electrostactic adhesive (EA) force.electrode material.patterned electrode. |
연구내용
○ 고유전 고분자 합성
- PU, 실리콘 변성우레탄 등의 고분자를 합성하여 복합체의 유전상수를 향상시켜 정전척의 효율을 향상시키고자 함.
○ 높은 유전상수 확보를 위한 BaTiO3 나노입자의 합성
- 복합체에 들어가는 고 유전상수 나노입자를 합성, 개질 및 후처리를 진행하여 균일한 특성을 갖는 고 유전 복합체를 구현함
○ 고전도성 유연 전극 소재 및 공정기술 개발
- 다중벽 탄소나노튜브 데코레이션 기반 금속-탄소나노복합재 합성
- 금속-탄소나노복합재 필러의 고분산성 기술 개발
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