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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국생산기술연구원 Korea Institute of Industrial Technology |
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연구책임자 | 조한철 |
참여연구자 | 윤종필 , 김형재 , 김도연 , 이태경 , 이태한 , 박병건 , 신우상 , 이종현 , 신성호 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2021-11 |
과제시작연도 | 2021 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO202300028956 |
과제고유번호 | 1711150337 |
사업명 | 한국생산기술연구원연구운영비지원(R&D)(주요사업비) |
DB 구축일자 | 2024-06-11 |
키워드 | 반도체.인공지능.브러쉬.세정.비예측성 문제.Semiconductor.AI.Brush.Cleaning.Unpredictable error. |
□ 연구내용
○ Brush 뒤틀림 인지 가능한 인공지능 모델 및 설명 가능한 인공지능 모델 개발
○ Brush 접촉 시점 및 뒤틀림 확인 가능한 wafer sensor 개발
○ 정상상태 학습을 통한 Unpredictable error 인식을 위한 인공지능 모델 개발
□ 연구개발 성과
○ 정성적 성과
- 브러쉬 기울기 인식 가능 센서 개발 (분해능 500 μm 확보)
- 브러쉬 뒤틀림 인지가능 AI 기술 확보 (99% 이상)
- 설명가능한 AI 기술 개발 및 적용
- 정상상태 학
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