초록 ▼

□ 연구개발목표 및 내용
■ 최종 목표
○ 환원처리 LT/LN 웨이퍼는 SAW 필터 소재로 년간 150억원을 수입하는 제품으로 선진사의 공정특허를 회피하여 동등 또는 이상의 사양으로 개발을 완성하는 것을 최종목표로 하여, 수입대체가 가능한 품질과 수율을 확보하는 것을 목표로 함.
○ 수직환원로를 자체개발하여 LT/LN 웨이퍼의 환원특성 균일성을 확보하여 품질경쟁력과 가격경쟁력을 가지는 환원공정을 확보함.
○ 환원처리 공정개발을 통해 아래의 성능과 품질의 환원공정을 개발함.
(1) 비저항 10^10<

□ 연구개발목표 및 내용
■ 최종 목표
○ 환원처리 LT/LN 웨이퍼는 SAW 필터 소재로 년간 150억원을 수입하는 제품으로 선진사의 공정특허를 회피하여 동등 또는 이상의 사양으로 개발을 완성하는 것을 최종목표로 하여, 수입대체가 가능한 품질과 수율을 확보하는 것을 목표로 함.
○ 수직환원로를 자체개발하여 LT/LN 웨이퍼의 환원특성 균일성을 확보하여 품질경쟁력과 가격경쟁력을 가지는 환원공정을 확보함.
○ 환원처리 공정개발을 통해 아래의 성능과 품질의 환원공정을 개발함.
(1) 비저항 10¹⁰~10¹¹Ωm
(2) 투과율 < 60%
(3) 배치 처리능력 > 4인치 50장
(4) 공정시간 : 24간 이내
■ 전체 내용
○ LT/LN 환원처리 기술 개발 : 지재권 문제가 없는 독자적인 공정을 개발함.
○ LT/LN 환원처리 공정에 필요한 수직형태의 환원로 개발
○ LT/LN 환원처리 공정 개발 : 비저항 < 10¹²Ωm 확보, 투과율 < 65% 확보

□ 연구개발성과
- 4인치 기판 전용설비(환원로) 개발완료
- 비저항 : LiNbO₃ 2.0 x 10¹⁰Ωm, LiTaO₃ 3.1 x 10¹⁰Ωm
- 투과율 : LiNbO₃ 41% 이하, LiTaO₃ 36% 이하
- 배치 처리능력 : LiNbO₃, LiTaO₃ 최대 130장/batch
- 공정시간 : (LiTaO₃ 기판 100매 기준) : 총 22h (환원열처리공정 20h + 환원촉매코팅공정 1h + 환원로 기판 투입/해체 1h)

□ 연구개발성과 활용계획 및 기대 효과
- LiNbO₃, LiTaO₃ 기판 환원공정 개발을 통한 국내 SAW 필터(와이솔, 쏘닉스 등) 제작업체로의 최종 사업화 추진을 위하여, 환원된 기판의 최종 연마는 외주업체를 통해 시제품으로 제작 중에 있음. 전세계 SAW 필터 12%를 차지하는 국내 업체 와이솔에서의 샘플 테스트 및 품질 승인여부가 사업화 진출에 최대 관건임.

(출처 : 요 약 문 2p)

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 요 약 문 ... 2
• 목차 ... 4
• 1. 연구개발과제의 개요 ... 5
• 1.1 SAW (Surface Acoustic Wave) 필터용 LT와 LN 웨이퍼의 개요 ... 5
• 1.2 SAW 필터의 시장 현황 ... 6
• 1.3 5G 스마트폰에서의 SAW 필터 고사양화와 환원웨이퍼 필요성 ... 6
• 1.4 LT/LN 웨이퍼의 환원처리 공정의 필요성 ... 7
• 1.5 경쟁사 제품 및 특허 입수 및 분석 ... 8
• 2. 연구개발과제의 수행 과정 및 수행 내용 ... 9
• 2.1 LT / LN 기판 석영 튜브 환원로 개발 ... 9
• 2.2 LiNbO3 환원 공정 개발 ... 15
• 2.3 LiTaO3 환원 공정 개발 ... 17
• 2.4 환원 기판 특성 측정 ... 19
• 2.5 LN/LT 환원 기판 특성 평가 ... 21
• 3. 연구개발과제의 수행 결과 및 목표 달성 정도 ... 22
• 1) 연구수행 결과 ... 22
• 2) 목표 달성 수준 ... 24
• 4. 목표 미달 시 원인분석 ... 24
• 5. 연구개발성과의 관련 분야에 대한 기여 정도 ... 25
• 6. 연구개발성과의 관리 및 활용 계획 ... 25
• 끝페이지 ... 26