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NTIS 바로가기주관연구기관 | 아이엔티에스 |
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연구책임자 | 송주석 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2022-03 |
과제시작연도 | 2021 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
연구관리전문기관 | 한국산업기술진흥협회 Korea Industrial Technology Association |
등록번호 | TRKO202300029133 |
과제고유번호 | 1711140905 |
사업명 | 고용위기기업부설연구소R&D전문인력활용지원(R&D) |
DB 구축일자 | 2024-06-11 |
키워드 | 스팀.비접촉.노즐.압력.세정.Steam.Non-Contact.Nozzle.Sorter Chip.Cleaning. |
□ 연구개발 목표 및 내용
○ 최종 목표
비접촉 스팀세정장치 테스트 벤치개발 및 장비 판매 후 기존장비 크리닝 공정에 개조하여 적용할 수 있게 국내 및 해외 반도체장비업체와 협업을 통하여 비접촉 스팀 세정방식을 장비에 연동시켜 크리닝 시스템 공정을 개선하고자 한다.
○ 전체 내용
현재의 접촉식 세정방법은 반도체 쇼터 칩 가장자리에 이물질이 남는등 품질이슈와 함께 셋업에 시간이 많이 소요되는 문제점이 있다.비접촉 스팀 세정방법을 사용하여 이물질을 완벽하게 제거하고 스팀노즐과 반도체 쇼터 칩 툴의 초기 분사
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