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NTIS 바로가기주관연구기관 | 악셀 |
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연구책임자 | 문윤곤 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2021-08 |
과제시작연도 | 2020 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO202300029442 |
과제고유번호 | 1711122141 |
사업명 | 고용위기기업부설연구소R&D전문인력활용지원 |
DB 구축일자 | 2024-06-26 |
키워드 | 리튬탄탈레리트.리튬나이오베이트.표면탄성파.환원.웨이퍼.LiTaO3.LiNbO3.SAW.Reduction.Wafer. |
□ 연구개발목표 및 내용
■ 최종 목표
○ 환원처리 LT/LN 웨이퍼는 SAW 필터 소재로 년간 150억원을 수입하는 제품으로 선진사의 공정특허를 회피하여 동등 또는 이상의 사양으로 개발을 완성하는 것을 최종목표로 하여, 수입대체가 가능한 품질과 수율을 확보하는 것을 목표로 함.
○ 수직환원로를 자체개발하여 LT/LN 웨이퍼의 환원특성 균일성을 확보하여 품질경쟁력과 가격경쟁력을 가지는 환원공정을 확보함.
○ 환원처리 공정개발을 통해 아래의 성능과 품질의 환원공정을 개발함.
(1) 비저항 1010<
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