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[국내논문] 실리콘웨이퍼 공정용 알루미나 정전척의 제작과 특성에 관한 연구
A study on the Fabrication and Characterization of Alumina Electrostatic Chuck for Silicon Wafer Processing 원문보기

센서학회지 = Journal of the Korean Sensors Society, v.8 no.6, 1999년, pp.481 - 486  

정광진 (울산대학교 재료금속공학부) ,  박용균 (울산대학교 재료금속공학부) ,  이영섭 (울산대학교 재료금속공학부) ,  조동율 (울산대학교 재료금속공학부) ,  천희곤 (울산대학교 재료금속공학부)

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

Alumina electrostatic chucks for silicon wafer process with wide range of electrical resistivity were fabricated by controlling the amount of $TiO_2$ addition(0, 1.3, 2.0, 2.8 wt%). The dependence of electrostatic force on applied voltage, temperature and humidity was investigated. In add...

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