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[국내논문] Inter-Bay 물류 흐름을 고려한 반도체 Fab의 Unload 및 Load Request Logic 개발
An Unload and Load Request Logic for Semiconductor Fab Considering Inter-Bay Material Flow 원문보기

산업공학 = IE Interfaces, v.17 no.spc, 2004년, pp.131 - 140  

서정대 (경원대학교 산업정보시스템공학과) ,  구평회 (부경대학교 시스템경영공학과) ,  장재진

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

The purpose of this paper is to develop and show the efficiency of the URL(Unload Request Logic) and LRL(Load Request Logic) of the dispatcher in the Fab(Fabrication) Manufacturing Execution System. These logics are the core procedures which control the material(wafer and glass substrate) flow effic...

주제어

AI 본문요약
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문제 정의

  • 본 논문은 반도체 및 LCD fab의 물류제어시스템(LAD; Look Ahead Dispatcher)을 위하여 look ahead에 의한 시스템의 현재 및 미래의 상태 정보를 이용하여 intra-bay뿐만 아니라 inter-bay 흐름을 고려하여 효율적으로 물류의 흐름을 제어하는 핵심 로직인 URL과 LRL을 개발하고 그 효과를 보인다. URL은 장비에서 가공을 마친 로트가 다음 가공을 위하여 장비를 선택하는 과정이며, LRL은 장비에서 로트의 가공이 완료된 후 가용해진 포트(port)가 다음 가공을 위하여 로트를 선택하는 과정이다.
  • 현재 장비 s에서 가공 완료된 로트가 AGV를 호출하여 가용한 AGV가 할당되어 NOM 그룹의 임의의 장비 i로 출발했다고 하자. NOM 그룹이 동일 베이에 있는 경우에는 NOM 그룹 장비로 직접 가고, 인접 베이에 있는 경우에는 stocker를 경유하여 바로 NOM 그룹 장비로 간다고 하자.
  • 지금 Zsgp , Zfgp를 AGV g의 운반 스케줄에서 운반시간대 p의 시작시간과 종료시간으로 두고 Zgp와 Zgq를 인접한 운반시간대라고 하자. 그러면 이때 ETjm  TL LTmn  TU  ETnk ETjk ≤ Zsgq  Zfgp을 만족시키는 제일 빠른 시간대가 Zgp와 Zgq 사이로 구해지면 새로운 운반시간대 Zgr을 Zgp와 Zgq 사이에 위치시킨다(<그림 10>).
  • 본 논문은 유사한 기능을 가지는 동종의 장비들이 그룹을 형성하고 있는 반도체 및 LCD fab에서 LAD를 위한 핵심 로직인 URL과 LRL을 개발, 제시하고 그 효과를 보였다. 이때 intra-bay 뿐만 아니라 inter-bay 흐름도 고려하였으며, look ahead에 의한 AGV의 가용성 및 미래의 운반 계획 정보도 함께 고려하였다.

가설 설정

  • 로트의 이동을 위해서 본 논문에서는 AGV가 사용되는 환경을 가정한다. 로트에 특정 AGV가 할당되면 이동을 위해 필요한 운반시간대가 AGV의 운반 스케줄에 등록된다.
  • )과 비교, 분석한다. LAD의 URL에서의   값은 각각 1/3로 두고 LRL에서의  12값은 각각 1/4로 두어 각 자원의 제약 정도를 동등하다고 가정하였다. 성능 평가를 위해 사용된 측정 지표로는 평균 리드타임, 평균 및 최대 WIP 수준, 그리고 평균 가용 AGV 대기시간 등이다.
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