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NTIS 바로가기반도체및디스플레이장비학회지 = Journal of the semiconductor & display equipment technology, v.4 no.1 = no.10, 2005년, pp.43 - 48
임익태 (익산대학 자동차과) , 김동석 (한양대학교 대학원 기계공학과) , 김우승 (한양대학교 기계공학과)
Metaloganic chemical vapor deposition, also known as metalorganic vapor phase epitaxy has become one of the main techniques for growing thin, high purity films for compound semiconductors such as GaAs, InP, and InGaAsP. In this study, the distribution of growth rate and composition of InGaAsP, InGaP...
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