최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기한국세라믹학회지 = Journal of the Korean Ceramic Society, v.42 no.3 = no.274, 2005년, pp.178 - 181
김용탁 (성균관대학교 신소재공학과) , 윤석규 (성균관대학교 신소재공학과) , 윤대호 (성균관대학교 신소재공학과)
Silicon oxynitride (SiON) layers deposited upon a
M. Huang, 'Stress Effects on the Performance of Optical Waveguides,' International J. Solids and Structures, 40 1615-32 (2003)
S. T. Hanie, J. D. Love, and R. B. Charters, 'Cut-Off Wave-length and Transient Effects in Asymmetrically Clad Singlemode Buried-Channel Waveguides,' IEEE Proc.-Optoelectron, 149 [2] 51-7 (2002)
C. R. Doerr, L. W. Stulz, R. Pafchek, K. Dreyer, and L. Zhang, 'Potentially Low-Cost Widely Tunable Laser Consisting of a Semiconductor Optical Amplifier Connected Directly to a Silica Waveguide Grating Router,' IEEE Photonics Tech. Lett., 15 [10] 1446-48 (2003)
J. Zhang, Z. Ren, R. Liang, Y. Sui, and W. Liu, 'Planar Optical Waveguide Thin Films Grown by Microwave ECR PECVD,' Surf. & Coat. Tech., 131 116-20 (2000)
C. Gorecki, 'Optimization of Plasma-Deposited Silicon Oxinitride Films for Optical Channel Waveguides,' Opt. and Lasers in Eng., 33 15-20 (2000)
C. H. Henry, R. F. Kazarinov, H. J. Lee, K. J. Orlowsky, and L. E. Katz, 'Low Loss $Si_3N_4SiO_2$ Optical Waveguides on Si,' Appl. Opt., 26 2621-24 (1987)
D. E. Bossi, J. M. Hammer, and J. M. Shaw, 'Optical Properties of Silicon Oxynitride Dielectric Waveguides,' Appl. Opt., 26 609-11 (1987)
T. S. Eriksson and C. G. Granqvist, 'Infrared Optical Properties of Silicon Oxynitride Films : Experimental Data and Theoretical Interpretation,' J. Appl. Phys., 60 2081-91 (1986)
R. Chow, W. A. Landford, W. Ke-Ming, and R. S. Rosier, 'Hydrogen Content of a Variety of Plasma Deposited Silicon Nitrides,' J. Appl. Phys., 53 5630-33 (1982)
A. E. T. Kuiper, M. F. C. Willemsen, and L. J. van Ijzendoorn, 'Hydrogen Incorporation in Silicon (Oxy)Nitride Thin Films,' Appl. Phys. Lett., 53 2149-51 (1988)
K. Kapser, C. Wagner, and P. P. Deimd, 'Rapid Deposition of High-Quality Silicon Oxinitrides,' IEEE Transactions Photonics Tech. Lett., 3 1096-98 (1991)
*원문 PDF 파일 및 링크정보가 존재하지 않을 경우 KISTI DDS 시스템에서 제공하는 원문복사서비스를 사용할 수 있습니다.
저자가 APC(Article Processing Charge)를 지불한 논문에 한하여 자유로운 이용이 가능한, hybrid 저널에 출판된 논문
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.