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NTIS 바로가기제어·자동화·시스템공학 논문지 = Journal of control, automation and systems engineering, v.13 no.1, 2007년, pp.19 - 25
The MFC(Mass Flow Controller) is an equipment that measures and controls mass flow rates of fluid. Most of the HFC system is still using the PID algorithm. The PID algorithm shows superior performance on the MFC system. But the PID algorithm in the MFC system has a few problems as followed. The char...
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사단법인 일본계량기기공업연합회, 유량계측 A to Z, 자동제어계측사, pp. 171-180, 1997
최성현, 가스 측정용 질량 유량계의 원리.구조와 적용, 제어계측, 자동제어계측사, pp. 37-39. 2003. 11
Y. Isoda, 정온도차 제어방식 열식 질량 유량계, 제어계측, 자동제어계측사, pp. 86-89, 2001. 11
Piezosystem inc., http://www.piezo.com/
G. Mohamed, Flow Control, Cambridge University Press. 2000
J. M. T. A. Han, L. Willem, and B. Reinder, 'Modeling piezoelectric actuators,' IEEF/ASME Trans. on Mezhatronics, vol. 5, no. 4, pp. 331-341, Dec. 2002
'Self-learning fuzzy logic system for in situ, in-process diagnostics of mass flow controller (MFC)' IEEE Trans, Semi. Manufacturing, vol. 7, no. I, Feb. 1994
F. Nadi, A. M. Agogino, and D. A. Hodges, 'Use of influence diagrams and neural networks in modeling semiconductor manufacturing processes,' IEEE Trans. on Semi. Manufacturing, vol. 4, no. 1, pp. 52-58, Feb. 1991
이명의, 정원철, '하이브리드형 질량 유량 제어기의 설계 및 실현,' 산학 기술 학회 논문지 vol. 4, no. 2, pp. 63-70, 2003
R N. Bateson, Introduction to Control System Technology, Prentice Hall, Inc., pp. 118-140
C. L. Phillips and H. T. Nagle, Digital Control System Analysis and Design, Prentice Hall, Inc., pp. 404-413, 1995
S. Haykin, Adaptive Filter Theory, Prentice Hall, Inc., pp. 610-635, 2002
M. Hamdan and Z. Gao, 'A novel PID controller for pneumatic proportional values with hysteresis,' IEEE, pp. 1198-1201, 2000
P. Ge and M. Jouaneh, 'Modeling hysteresis in piezoceramic actuators,' Precision Engineering, vol. 17, pp. 211-221, 1995
H. Kaoru and E. Masayoshi, 'Stainless steel-based integrated mass-flow controller for reactive and corrosive gases.,' Sensors and Actuators, pp. 33-38, 2002
J. Schuurmans and T. Jones, 'Control of mass flow in a hot strip mill using model predictive control.,' Proc. of the 2002 IEEE int. Conf. on Control Applications, pp. 18-20, 2002
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