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A Self-Learning Method for Automatic Alignment in Wafer Processing

International journal of precision engineering and manufacturing, v.14 no.2, 2013년, pp.215 - 221  

Kim, Hyung-Tae (Smart System Research Group, KITECH) ,  Lee, Kang-Won (Smart System Research Group, KITECH) ,  Yang, Hae-Jeong (Department of Mechanical Design Engineering, Korea Polytechnic University) ,  Kim, Sung-Chul (AmTechnology, Asan Technovalley)

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

We propose a self-learning method for automatic wafer alignment in the semiconductor manufacturing process. A feed forward neural network is trained by and used for wafer alignment. The network determines the movement of kinematic parts from the misalignment inspected by machine vision. However, it ...

주제어

#Self-Training   #Iterative Learning Control   #Machine Intelligence   #Automatic Alignment   #Wafer Processing  

참고문헌 (17)

  1. Microelectronics Reliability H. T. Kim 46 1 100 2006 10.1016/j.microrel.2005.06.005 Kim, H. T., Song, C. S., and Yang, H. J., “Algorithm for automatic alignment in 2D space by object transformation,” Microelectronics Reliability, Vol. 46, No. 1, pp. 100-108, 2006. 

    상세보기 crossref

  2. Int. J. Precis. Eng. Manuf. J. H. Kim 12 5 797 2011 10.1007/s12541-011-0106-8 Kim, J. H., “Visually Guided 3D Micro Positioning and Alignment System,” Int. J. Precis. Eng. Manuf., Vol. 12, No. 5, pp. 797-803, 2011. 

    원문보기 상세보기 crossref

  3. Microelectronics Reliability H. T. Kim 47 6 972 2007 10.1016/j.microrel.2006.06.008 Kim, H. T., Yang, H. J., and Baek, S. Y., “Iterative algorithm for automatic alignment by object transformation,” Microelectronics Reliability, Vol. 47, No. 6, pp. 972-985, 2007. 

    상세보기 crossref

  4. IEEE Trans. on Automation Science and Engineering H. T. Kim 2 7 377 2010 Kim, H. T., Lee, K. W., Jeon, B. K., and Song, C. S., “Quick Wafer Alignment using Feedforward Neural Network,” IEEE Trans. on Automation Science and Engineering, Vol. 2, No. 7, pp. 377-382, 2010. 

  5. IEEE Int. Conf. on Neural Networks R. K. Elsley 2 587 1987 Elsley, R. K., “A Learning Architecture for Control Based on Back-Propagation Neural Networks,” IEEE Int. Conf. on Neural Networks, Vol. 2, pp. 587-594, 1987. 

  6. IEEE Int. Conf. on Neural Networks H. Kobayashi 3 18 1991 Kobayashi, H., Uchida, K., and Misuzaki, Y., “A Self-Learning Robot Vision System,” IEEE Int. Conf. on Neural Networks, Vol. 3, pp. 18-21, 1991. 

  7. IEEE Int. Conf. on Neural Networks D. Kuhn 5 2364 1995 Kuhn, D., Buessler, J. L., and Urban, J. P., “Neural Approach to Visiual Servoing for Robotic Hand Eye Coordination,” IEEE Int. Conf. on Neural Networks, Vol. 5, pp. 2364-2369, 1995. 

  8. Nguyen, M. C. and Graefe, V., “Self-Learning Vision Guided Robots for Searching Grasping Objects,” IEEE Int. Conf. on Robotics & Automation, pp. 1633-1638, 2000. 

  9. Huang, P. F., Xu, Y. S., and Liang, B., “Skill Acquisition from Human Experts Through Pattern Processing of Teaching Data,” IEEE Int. Conf. on Information Acquisition, pp. 210-215, 2005. 

  10. IEEE Int. Conf. on Robotics & Automation H. Asada 3 1302 1989 Asada, H. and Yang, B. H., “Modeling Human Intelligence and Application to Space Object Capturing,” IEEE Int. Conf. on Robotics & Automation, Vol. 3, pp. 1302-1307, 1989. 

  11. Kosuge, K., Fukuda, T., and Asada, H., “Acquisition of Human Skills for Robotic Systems,” IEEE Int. Symp. on Intelligent Control, pp. 469-474, 1991. 

  12. Hsien, C., Shih, V., Sherkat, N., and Thomas, P., “Correction of Errors due to Flexibility of Dynamic Systems,” IEEE Int. Conf. on Robotics & Automation, pp. 2103-2108, 1996. 

  13. IEEE Int. Conf. on Systems, Man and Cybernetics W. A. Daxwanger 2 1659 1995 Daxwanger, W. A. and Schmidt, G. K., “Skill-Based Visual Parking Control Using Neural and Fuzzy Networks,” IEEE Int. Conf. on Systems, Man and Cybernetics, Vol. 2, pp. 1659-1664, 1995. 

  14. Kado, Y., Pan, Y., and Furuta, K., “Control System for Skill Acquisition - Balancing Pendulum based on Human Adaptive Mechatronics,” IEEE Int. Conf. on Systems, Man and Cybernetics, pp. 4040-4045, 2006. 

  15. L. Fausett 16 1994 Fundamentals of Neural Networks - architectures, angorithms and applications Fausett, L., “Fundamentals of Neural Networks - architectures, angorithms and applications,” Prentice Hall, New Jersey, pp. 16-19, 1994. 

  16. C. T. Lin 243 1996 Neural Fuzzy Systems - A Neuro - Fuzzy Synergism to Intelligent Systems Lin, C. T. and Lee, C. S. G., “Neural Fuzzy Systems - A Neuro - Fuzzy Synergism to Intelligent Systems,” Prentice Hall, New Jersey, pp. 243-250, 1996. 

  17. Jang, J. S. R., Sun, C. T., and Mizutani, E., “Neuro-Fuzzy and Soft Computing - A Computational Approach to Learning and Machine Intelligence,” Prentice Hall, New Jersey, pp. 233-238, 1997. 

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