[논문]고온공정시 텅스텐 동시 contact에서 TiN barrier의 Failure Mechanism에 관한 연구

최시영; 유봉영; 이권우; 이현덕; 강호규; 이문용; 이종길

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[국내논문] 고온공정시 텅스텐 동시 contact에서 TiN barrier의 Failure Mechanism에 관한 연구
Failure Mechanism of TiN Barrier under High Thermal Budget in W-Plug Common Contact 원문보기

한국재료학회 1997년도 한국재료학회 춘계학술발표회, 1997 May 01, 1997년, pp.18 - 18

최시영 (삼성전자, 반도체연구소) , 유봉영 (삼성전자, 반도체연구소) , 이권우 (삼성전자, 반도체연구소) , 이현덕 (삼성전자, 반도체연구소) , 강호규 (삼성전자, 반도체연구소) , 이문용 (삼성전자, 반도체연구소) , 이종길 (삼성전자, 반도체연구소)

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