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NTIS 바로가기제어로봇시스템학회 2000년도 제15차 학술회의논문집, 2000 Oct. 01, 2000년, pp.161 - 161
성학경 (삼성전자 자동화연구소) , 이성현 (삼성전자 자동화연구소) , 김성권 (삼성전자 생산기술센타)
The clean mobile robot for wafer transfer is AGV that carry each wafer to each equipment. It has wafer handling technology, wafer ID recognition technology, position calibration technology using vision system, and anti-vibration technology. Wafer loading/unloading working accuracy is within
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