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NTIS 바로가기대한전기학회 2008년도 제39회 하계학술대회, 2008 July 16, 2008년, pp.1281 - 1282
이붕주 (남서울대학교) , 신백균 (인하대학교) , 유도현 (안산공과대학) , 지승한 (경원대학교) , 이능헌 (경원대학교) , 박강식 (대덕대학)
Low cost TCO(Transparent Conductive oxide) thin films were prepared by 3" DC/RF magnetron sputtering systems. For the AZO preparation processes a 99.99% AZO target (Zn: 98 wt.%,
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