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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-1996-0042375 (1996-09-25) |
공개번호 | 10-1997-0018350 (1997-04-30) |
등록번호 | 10-0284832-0000 (2000-12-26) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1019960042375 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (1998-04-13) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
본 발명은 정전기 척의 표면에 냉각가스 또는 다른 열 전달 유체를 용이하게 흘리는 구조의 제조방법 및 기초 구조물을 개시한다. 기초 구조물은 정전기 척 유전체 표면 층 및 그것의 위에 놓여있는 전도체 층 사이에 접촉표면을 찾는 rf플라즈마 환경의 문제를 처리한다. 기초 구조물은 적어도 하나의 가스 흐름 경로 및 상기 전도층위에 놓여있는 적어도 하나의 유전체 층을 포함하는 아래 놓여 있는 전도체 층을 포함한다. 유전체 층은 유전체 척의 상부 표면을 형성하고 전도층에서 유체 흐름통로와 접속하는 적어도 하나의 개구부 또는 통로를 포함한다
열 전달 유체를 정전기 척의 상부 표면에 용이하게 전달하는데 사용하는 구조물에 있어서, (a) 전도층의 상부 표면에 적어도 하나의 제1개구부를 가지는 적어도 하나의 유체 흐름 통로를 포함하는 전도층을 포함하는데, 상기 전도층의 상부 표면 및 상기 정전기 척의 상부 표면 및 상기 정전기 척의 상부 표면 사이의 거리는 상기 적어도 하나의 제1개구부에 인접한 영역에서 보다 크고, (b) 상기 전도체 층 위에 놓여있고 상기 전도체 층을 통하여 상기 제1개구부와 접속하는 상기 유전체 층의 표면으로부터 적어도 하나의 제2개구부를 가지는 유전체
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