초록 ▼

본 발명은 정전기 척의 표면에 냉각가스 또는 다른 열 전달 유체를 용이하게 흘리는 구조의 제조방법 및 기초 구조물을 개시한다. 기초 구조물은 정전기 척 유전체 표면 층 및 그것의 위에 놓여있는 전도체 층 사이에 접촉표면을 찾는 rf플라즈마 환경의 문제를 처리한다. 기초 구조물은 적어도 하나의 가스 흐름 경로 및 상기 전도층위에 놓여있는 적어도 하나의 유전체 층을 포함하는 아래 놓여 있는 전도체 층을 포함한다. 유전체 층은 유전체 척의 상부 표면을 형성하고 전도층에서 유체 흐름통로와 접속하는 적어도 하나의 개구부 또는 통로를 포함한다

본 발명은 정전기 척의 표면에 냉각가스 또는 다른 열 전달 유체를 용이하게 흘리는 구조의 제조방법 및 기초 구조물을 개시한다. 기초 구조물은 정전기 척 유전체 표면 층 및 그것의 위에 놓여있는 전도체 층 사이에 접촉표면을 찾는 rf플라즈마 환경의 문제를 처리한다. 기초 구조물은 적어도 하나의 가스 흐름 경로 및 상기 전도층위에 놓여있는 적어도 하나의 유전체 층을 포함하는 아래 놓여 있는 전도체 층을 포함한다. 유전체 층은 유전체 척의 상부 표면을 형성하고 전도층에서 유체 흐름통로와 접속하는 적어도 하나의 개구부 또는 통로를 포함한다. 유정체 층 두께는 유전체 척 표면상의 다른 위치에서 보다 개구부 또는 통로 영역에서 더 크다. 기초 구조물은 정전기 척의 상부 표면처럼 절연 유전체 구조물을 제공하고 아래 놓여있는 전도체 층으로부터 정전기 척 유전체 표면의 절연을 개선시킨다. 통상적으로 전도체 층은 알루미늄 닫침대이고 위에 놓여있는 절연층은 스프레이된 알루미나이다. 구조물의 다른 재료는 그것들의 전기적 요구를 충족하고 의도된 처리 환경에서 다중 사이클 후 그것들의 관련 열 팽창 계수가 정전기 척의 보전시 문제를 일으키지 않는한 사용될 수 있다.

대표청구항 ▼

열 전달 유체를 정전기 척의 상부 표면에 용이하게 전달하는데 사용하는 구조물에 있어서, (a) 전도층의 상부 표면에 적어도 하나의 제1개구부를 가지는 적어도 하나의 유체 흐름 통로를 포함하는 전도층을 포함하는데, 상기 전도층의 상부 표면 및 상기 정전기 척의 상부 표면 및 상기 정전기 척의 상부 표면 사이의 거리는 상기 적어도 하나의 제1개구부에 인접한 영역에서 보다 크고, (b) 상기 전도체 층 위에 놓여있고 상기 전도체 층을 통하여 상기 제1개구부와 접속하는 상기 유전체 층의 표면으로부터 적어도 하나의 제2개구부를 가지는 유전체

열 전달 유체를 정전기 척의 상부 표면에 용이하게 전달하는데 사용하는 구조물에 있어서, (a) 전도층의 상부 표면에 적어도 하나의 제1개구부를 가지는 적어도 하나의 유체 흐름 통로를 포함하는 전도층을 포함하는데, 상기 전도층의 상부 표면 및 상기 정전기 척의 상부 표면 및 상기 정전기 척의 상부 표면 사이의 거리는 상기 적어도 하나의 제1개구부에 인접한 영역에서 보다 크고, (b) 상기 전도체 층 위에 놓여있고 상기 전도체 층을 통하여 상기 제1개구부와 접속하는 상기 유전체 층의 표면으로부터 적어도 하나의 제2개구부를 가지는 유전체 층를 포함하여, 유체 흐름경로는 상기 통로부터 상기 유전체층의 표면으로 제공되는 것을 특징으로 하는 구조물.