초록 ▼

본 발명은 반도체 가속도 센서의 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 고가의 장비를 사용하지 않고 실리콘 기판의 일면에 마련되어 매스의 진동운동을 외부로부터 보호하는 지지판을 자기정합형(Self-alignment) 웨이퍼 접합방법을 사용하여 제조하는 반도체 가속도 센서의 제조방법에 관한 것이다.본 발명의 반도체 가속도 센서의 제조방법은 실리콘 웨이퍼 상하면의 가장자리 홈 부분에 솔더링 페이스트와 접착이 이루어지도록 알로이층을 증착하고, 상기 알로이층과 상응하도록 상하부 지지판의 가장자리 부분에 솔더링 페이스트를 도포하는 단계와;

본 발명은 반도체 가속도 센서의 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 고가의 장비를 사용하지 않고 실리콘 기판의 일면에 마련되어 매스의 진동운동을 외부로부터 보호하는 지지판을 자기정합형(Self-alignment) 웨이퍼 접합방법을 사용하여 제조하는 반도체 가속도 센서의 제조방법에 관한 것이다.본 발명의 반도체 가속도 센서의 제조방법은 실리콘 웨이퍼 상하면의 가장자리 홈 부분에 솔더링 페이스트와 접착이 이루어지도록 알로이층을 증착하고, 상기 알로이층과 상응하도록 상하부 지지판의 가장자리 부분에 솔더링 페이스트를 도포하는 단계와; 상기 실리콘 웨이퍼의 상하면에 각각의 층이 대응되게 상,하부 지지판을 일치시키는 단계와; 상기 실리콘 웨이퍼와 상,하부 지지판의 금속층이 접합되어 실리콘 웨이퍼와 상,하부 지지판이 결합되도록 페이스트를 용융화시키는 단계와; 용융된 솔더링 페이스트를 접합시키기 위해 웨이퍼들이 유동하는 단계와; 냉각에 의해서 자기정합된 웨이퍼들이 접합되는 단계로 이루어져서 소자배선 및 회로가 손상되는 것이 방지되며, 실리콘 웨이퍼와 지지판의 뒤틀림이 방지되는 이점이 있다.

대표청구항 ▼

실리콘 웨이퍼 상하면의 가장자리 홈 부분에 솔더링 페이스트와 접착이 이루어지도록 알로이층을 증착하고, 상기 알로이층과 상응하도록 상하부 지지판의 가장자리 부분에 솔더링 페이스트를 도포하는 단계와; 상기 실리콘 웨이퍼의 상하면에 각각의 층이 대응되게 상,하부 지지판을 일치시키는 단계와; 상기 실리콘 웨이퍼와 상,하부 지지판의 금속층이 접합되어 실리콘 웨이퍼와 상,하부 지지판이 결합되도록 페이스트를 용융화시키는 단계와; 용융된 솔더링 페이스트를 접합시키기 위해 웨이퍼들이 유동하는 단계와; 냉각에 의해서 자기정합된 웨이퍼들이 접합되는 단

실리콘 웨이퍼 상하면의 가장자리 홈 부분에 솔더링 페이스트와 접착이 이루어지도록 알로이층을 증착하고, 상기 알로이층과 상응하도록 상하부 지지판의 가장자리 부분에 솔더링 페이스트를 도포하는 단계와; 상기 실리콘 웨이퍼의 상하면에 각각의 층이 대응되게 상,하부 지지판을 일치시키는 단계와; 상기 실리콘 웨이퍼와 상,하부 지지판의 금속층이 접합되어 실리콘 웨이퍼와 상,하부 지지판이 결합되도록 페이스트를 용융화시키는 단계와; 용융된 솔더링 페이스트를 접합시키기 위해 웨이퍼들이 유동하는 단계와; 냉각에 의해서 자기정합된 웨이퍼들이 접합되는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 가속도 센서의 제조방법.