초록 ▼

본 발명은 검출 감도가 높고, 소형화 및 저비용화를 도모할 수 있는 가속도 센서 및 그 가속도 센서를 효율적으로 수납할 수 있는 패키지 구조를 포함하는 가속도 센서 장치를 제공한다. 압전 단결정으로 이루어진 진동자(1)와, 진동자에 연결되어 있는 무게추부(2)를 포함한다. 분할된 전기 신호 검출용의 전극(1a, 1a)이 진동자(1)에 형성되고, 이 전극(1a, 1a)과 신호 검출 기판을 겸하는 무게추부(2)의 배선 패턴(2a, 2a)이 서로 다른 방향성을 구비한 도전성 접착제로 도통되어 있다. 한 방향의 가속도(폭이 넓은 화살표 방

본 발명은 검출 감도가 높고, 소형화 및 저비용화를 도모할 수 있는 가속도 센서 및 그 가속도 센서를 효율적으로 수납할 수 있는 패키지 구조를 포함하는 가속도 센서 장치를 제공한다. 압전 단결정으로 이루어진 진동자(1)와, 진동자에 연결되어 있는 무게추부(2)를 포함한다. 분할된 전기 신호 검출용의 전극(1a, 1a)이 진동자(1)에 형성되고, 이 전극(1a, 1a)과 신호 검출 기판을 겸하는 무게추부(2)의 배선 패턴(2a, 2a)이 서로 다른 방향성을 구비한 도전성 접착제로 도통되어 있다. 한 방향의 가속도(폭이 넓은 화살표 방향)가 가해진 경우, 무게추부(2)에 발생하는 회전 모멘트를 진동자(1)에서 미끄러짐 진동으로서 검출하고, 그 가속도에 따른 전기 신호를 전극(1a, 1a)으로부터 취출한다.

대표청구항 ▼

가속도를 검출하는 가속도 센서에 있어서, 전극을 포함하며 미끄러짐 진동이 발생되는 진동자와, 상기 진동자에 연결되어 있고 상기 진동자에 그 자신을 더한 것의 무게 중심 위치와 다른 위치에서 지지되고 있는 무게추부를 구비하고, 상기 전극과 도통되어 있는 배선 패턴이 상기 무게추부에 형성되어 있으며, 가속도가 가해진 경우에 상기 무게추부에 발생하는 지지점을 중심으로 한 회전 모멘트를 미끄러짐 진동으로서 상기 진동자로 검출하고, 상기 가속도에 따른 전기 신호를 상기 전극으로부터 상기 배선 패턴을 통해 출력하도록 한 것을 특징으로 하는 가

가속도를 검출하는 가속도 센서에 있어서, 전극을 포함하며 미끄러짐 진동이 발생되는 진동자와, 상기 진동자에 연결되어 있고 상기 진동자에 그 자신을 더한 것의 무게 중심 위치와 다른 위치에서 지지되고 있는 무게추부를 구비하고, 상기 전극과 도통되어 있는 배선 패턴이 상기 무게추부에 형성되어 있으며, 가속도가 가해진 경우에 상기 무게추부에 발생하는 지지점을 중심으로 한 회전 모멘트를 미끄러짐 진동으로서 상기 진동자로 검출하고, 상기 가속도에 따른 전기 신호를 상기 전극으로부터 상기 배선 패턴을 통해 출력하도록 한 것을 특징으로 하는 가속도 센서.