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연합인증

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[한국특허] 센서 제조 방법, 센서 및 센서 사용방법 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • G01K-007/18
  • B32B-018/00
  • C04B-035/03
  • C04B-035/10
  • C04B-035/465
  • C04B-035/48
  • C04B-035/622
  • C23C-024/04
  • G01F-001/692
  • G01K-001/08
출원번호 10-2019-7012540 (2019-04-30)
공개번호 10-2019-0059314 (2019-05-30)
등록번호 10-2237782-0000 (2021-04-02)
우선권정보 독일(DE) 10 2016 119 340.2 (2016-10-11)
국제출원번호 PCT/EP2017/075982 (2017-10-11)
국제공개번호 WO 2018/069415 (2018-04-19)
번역문제출일자 2019-04-30
DOI http://doi.org/10.8080/1020197012540
발명자 / 주소
  • 비넌 칼하인츠 / 독일 ***** 아샤펜부르크 머드웩 *
  • 디트만 슈테판 / 독일 ***** 알체나우 드로셀베크 **
  • 진케비츠 마츠베이 / 독일 ***** 골드바흐 플루트그라벤 *
  • 무스 랄프 / 독일 ***** 바이로이트 헤겔-슈트라세 **에이
  • 슈베르트 미카엘 / 독일 ***** 바이로이트 베토벤 슈트라세 **
  • 투르비트 마틴 / 독일 ***** 브루흐쾨벨 막스-플랑크-슈트라세 *
출원인 / 주소
  • 헤라우스 넥센소스 게엠베하 / 독일 ***** 클라이노스테임 라인하르트-헤라우스-링 **
대리인 / 주소
  • 유미특허법인
심사청구여부 있음 (2019-04-30)
심사진행상태 등록결정(재심사후)
법적상태 등록

초록

본 발명은 적어도 하나의 도전층 및 적어도 하나의 추가층, 특히 불활성화층 및/또는 절연층을 포함하는 센서, 특히 온도 센서를 제조하는 방법에 관련된다. 본 발명에 따르면, 도전층 및/또는 추가층, 특히 불활성화층 및/또는 절연층은 에어로졸 퇴적(에어로졸 퇴적 방법, ADM)에 의해 제조된다.

대표청구항 ▼

적어도 하나의 도전층 및 적어도 하나의 불활성화층 또는 절연층을 포함하는 센서를 제조하는 방법으로서,상기 적어도 하나의 불활성화층 또는 절연층은 에어로졸 퇴적(에어로졸 퇴적 방법, ADM)에 의해 제조되고,상기 에어로졸 퇴적에서, 분말로서,a) 94 중량% 이상의 기재 순도를 갖는 알파 상의 알루미늄 산화물(Al2O3);b) 94 중량% 이상의 기재 순도를 갖는 마그네슘 산화물(MgO);c) 98 중량% 이상의 기재 총 순도를 갖는 조성물 Mg2TiO5, MgTiO3, 또는 MgTi2O5의 마그네슘 티타네이트;d) 이트륨 산화물 및

발명자의 다른 특허 :

이 특허에 인용된 특허 (2)

  1. [한국] 복합 구조물 및 그의 제조방법과 제조장치 | 아케도준, 이토토모카즈, 요코야마타츠로, 모리카츠히코, 하토노히로노리, 키요하라마사카츠, 아소유지
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  2. [일본] MANUFACTURING METHOD OF SUPERSONIC THICKNESS SENSOR | MORI KAZUTAKA, KUDO DAISUKE, KOBAYASHI TAKAAKI, YAMAMOTO YUKO, UEMOTO AKIHIRO, KAWANAMI SEIICHI
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