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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2002-0049557 (2002-08-21) |
공개번호 | 10-2004-0017485 (2004-02-27) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020020049557 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 취하(심사미청구) |
법적상태 | 취하 |
본 발명은 반도체 공정챔버의 리프트 핀 어셈블리에 관한 것으로, 본 발명에서는 반도체 공정챔버에 설치되는 척의 내부에 구비되어 웨이퍼를 분리하기 위해 승,하강작동하는 반도체 공정챔버의 리프트 핀 어셈블리에 있어, 구동수단인 실린더가 하부에 연결되는 고정플레이트의 상부에 다수의 나사홀을 소정의 간격을 두고 형성하고, 각 나사홀에 결합되는 핀에는 탭을 형성하여, 나사홀을 통해 각 핀을 나사결합하므로서 다수의 핀중 임의의 핀에 휨변형이 발생할 경우 기존과 같이 어셈블리자체를 교체하지 않고 휨변형된 핀만을 교체할 수 있어 장비가 불필요하
반도체 공정챔버에 설치되는 척의 내부에 구비되며 웨이퍼를 분리하기 위해 승,하강작동하는 반도체 공정챔버의 리프트 핀 어셈블리에 있어서, 구동수단인 실린더가 하부에 연결되는 고정플레이트의 상부에 다수의 나사홀을 소정의 간격을 두고 형성하고, 각 나사홀에 결합되는 핀에는 탭을 형성하여, 각 핀이 나사홀을 통해 나사결합됨을 특징으로 하는 반도체 공정챔버의 리프트 핀 어셈블리.
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