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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록실용신안 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 20-1997-0037079 (1997-12-13) |
공개번호 | 20-1999-0024604 (1999-07-05) |
등록번호 | 20-0198450-0000 (2000-07-24) |
DOI | http://doi.org/10.8080/2019970037079 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (1997-12-13) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
본 고안은 반도체 웨이퍼 검사장비의 척에 관한 것으로, 종래에는 웨이퍼의 고정시 몸체의 상면에 형성된 진공홈을 제외한 전면이 몸체의 하면과 접촉되므로 웨이퍼에 이물질이 많이 부착되어 웨이퍼를 오염시키는 문제점이 있었다. 본 고안 반도체 웨이퍼 검사장비의 척은 몸체(11)의 상면 가장자리에 웨이퍼(W)를 지지하기 위한 수개의 웨이퍼 지지대(12)를 설치하고, 웨이퍼(W)의 고정시 상기 웨이퍼 지지대(12)에 의하여 웨이퍼(W)의 하면 가장자리가 지지되는 상태로 고정되도록 함으로서, 종래의 경우보다 몸체의 상면과 웨이퍼의 하면의 접촉면
몸체와, 그 몸체의 상면에 설치되어 있는 수개의 웨이퍼 지지대와, 그 웨이퍼 지지대들의 상면에 각각 형성되어 있는 버큠홀을 구비하여서 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 검사장비의 척.
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