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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2008-0100778 (2008-10-14) |
공개번호 | 10-2009-0038376 (2009-04-20) |
등록번호 | 10-1018902-0000 (2011-02-23) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020080100778 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2008-10-14) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
고온 검사시에 프로브 카드(7)의 프로브(7A)가 부분적으로 웨이퍼 척(4)으로부터 삐져나와도 그 부분의 프로브(7A1)가 냉각되는 일이 없고, 다른 프로브(7A)와 실질적으로 동일한 침압으로 웨이퍼(W)와 접촉하고, 고온 검사의 신뢰성을 높일 수 있는 검사 장치를 제공한다. 본 발명의 검사 장치는, 온도 조절 기구를 내장하는 이동 가능한 웨이퍼 척(4)과, 웨이퍼 척(4)의 위쪽에 배치된 복수의 프로브(7A)를 가지는 프로브 카드(7)와, 온도 조절 기구를 제어하는 제 1 온도 제어 장치(46)를 구비하고, 제 1 온도 제어 장치
온도 조절 기구를 내장하는 이동 가능한 탑재대와, 상기 탑재대의 위쪽에 배치된 복수의 프로브를 가지는 프로브 카드와, 상기 온도 조절 기구를 제어하는 제 1 온도 제어 장치를 구비하고, 상기 제 1 온도 제어 장치의 제어 하에서 상기 온도 조절 기구에 의해 상기 탑재대 상의 피검사체를 소정의 온도까지 가열하고, 상기 피검사체의 전기적 특성을 실행하는 검사 장치에 있어서, 상기 탑재대에, 상기 피검사체의 고온 검사시에 상기 탑재대로부터 삐져나오는 복수의 프로브에 대향하는 가열체를 마련하되,상기 가열체는 상기 탑재대 측면의 상단부로부터
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