초록 ▼

본 발명에 따른 단일벽 탄소나노튜브를 이용한 기체 센서의 제조방법은 센서용 전극 패턴을 새롭게 설계하는 단계(A)와, 탄소나노튜브를 전극 패턴 위에 떨어뜨리고 인접한 두 전극 사이로 수평 이동시키는 단계(B)를 포함하며, 단계(B)는 전극 패턴위에 탄소나노튜브를 떨어뜨려 일정시간 정지 상태로 유지하는 단계와, 500RPM 이상의 고속으로 탄소나노튜브가 놓인 전극 패턴을 회전시켜 나노튜브가 원심력을 받도록 하는 단계와, 메탄올을 이용하여 불순물 나노입자와 전극 패턴에 놓이지 못한 잔류 나노튜브를 제거하여 전극 패턴을 세정하는 단계를

본 발명에 따른 단일벽 탄소나노튜브를 이용한 기체 센서의 제조방법은 센서용 전극 패턴을 새롭게 설계하는 단계(A)와, 탄소나노튜브를 전극 패턴 위에 떨어뜨리고 인접한 두 전극 사이로 수평 이동시키는 단계(B)를 포함하며, 단계(B)는 전극 패턴위에 탄소나노튜브를 떨어뜨려 일정시간 정지 상태로 유지하는 단계와, 500RPM 이상의 고속으로 탄소나노튜브가 놓인 전극 패턴을 회전시켜 나노튜브가 원심력을 받도록 하는 단계와, 메탄올을 이용하여 불순물 나노입자와 전극 패턴에 놓이지 못한 잔류 나노튜브를 제거하여 전극 패턴을 세정하는 단계를 포함한다. 이와 같은, 본 발명에 의하면 탄소나노튜브를 화학기상증착법으로 직접 성장시킨 후 전극을 성장한 나노튜브 위에 부착시키는 고비용의 매우 어려운 공정으로 이루어진 직접 성장법과, IDT(INTERDIGITATED) 구조로 전극을 만들고 탄소나노튜브를 그 위에 떨어뜨려 다량의 나노튜브가 다수의 위치에서 전극과 병렬 연결되도록 제조하는 직접 부착법이 갖고 있는 단점, 즉 낮은 감도 및 느린 회복속도를 쉽게 극복하고, 기존 두가지 방법의 장점만을 획득할 수 있는 효과를 제공한다.

대표청구항 ▼

일정한 두께의 실리콘 산화막이 증착되어 있는 실리콘 기판 위에 전극 패턴을 형성하는 단계|상기 전극 패턴 위에 탄소나노튜브가 들어있는 액상 혼합물을 떨어뜨린 후 일정시간 정지상태로 유지하는 단계|탄소나노튜브가 놓여져 있는 전극 패턴을 갖는 기판 전체를 일정 속도로 회전시켜 탄소나노튜브가 원심력을 받아 수평이동되면서 인접한 두 전극 사이로 위치되어 두 전극을 연결하는 단계|를 포함하는 것을 특징으로 하는 단일벽 나노튜브를 이용한 기체 센서 제조방법.청구항 1에 있어서, 상기 전극 패턴을 형성하는 단계에서는 정사각형의 기판 위에 상하

일정한 두께의 실리콘 산화막이 증착되어 있는 실리콘 기판 위에 전극 패턴을 형성하는 단계|상기 전극 패턴 위에 탄소나노튜브가 들어있는 액상 혼합물을 떨어뜨린 후 일정시간 정지상태로 유지하는 단계|탄소나노튜브가 놓여져 있는 전극 패턴을 갖는 기판 전체를 일정 속도로 회전시켜 탄소나노튜브가 원심력을 받아 수평이동되면서 인접한 두 전극 사이로 위치되어 두 전극을 연결하는 단계|를 포함하는 것을 특징으로 하는 단일벽 나노튜브를 이용한 기체 센서 제조방법.청구항 1에 있어서, 상기 전극 패턴을 형성하는 단계에서는 정사각형의 기판 위에 상하 및 좌우로 각 3개의 전극 쌍을 구성하고 4개의 외부 전원 단자만으로 전극 쌍이 각각 독립적으로 구동하도록 전극 패턴을 배치하는 것을 특징으로 하는 단일벽 나노튜브를 이용한 기체 센서 제조방법.청구항 1 또는 2에 있어서, 상기 전극 패턴을 형성하는 단계에서는 서로 마주대하는 전극의 접촉부분의 폭을 0.002mm 이하로 하여 수 개의 나노튜브만으로 연결될 수 있도록 하는 것을 특징으로 하는 단일벽 나노튜브를 이용한 기체 센서 제조방법.청구항 1에 있어서, 상기 탄소나노튜브가 놓여져 있는 전극 패턴을 갖는 기판 전체를 회전시키는 속도는 500rpm 이상인 것을 특징으로 하는 단일벽 나노튜브를 이용한 기체 센서 제조방법.청구항 1에 있어서, 상기 탄소나노튜브의 수평이동을 이용하여 두 전극을 연결하는 단계는 메탄올을 이용하여 잔류 불순물 나노입자를 제거하여 전극 패턴을 세정하는 과정을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 단일벽 나노튜브를 이용한 기체 센서 제조방법.일정한 두께의 실리콘 산화막이 증착되어 있는 실리콘 기판 위에 전극 패턴을 형성하고, 상기 전극 패턴 위에 탄소나노튜브가 들어있는 액상 혼합물을 떨어뜨린 후 일정시간 정지상태로 유지시키며, 탄소나노튜브가 놓여져 있는 전극 패턴을 갖는 기판 전체를 일정 속도로 회전시켜 탄소나노튜브가 원심력을 받아 수평이동되면서 인접한 두 전극 사이로 위치되는 동시에 두 전극을 연결한 구조로 이루어진 것을 특징으로 하는 단일벽 나노튜브를 이용한 기체 센서.청구항 6에 있어서, 상기 전극 패턴은 정사각형의 기판 위에 상하 및 좌우측으로 각 3개의 전극 쌍이 배치되고, 각 측에 1개씩 총 4개의 외부 전원 단자만으로 전극 쌍이 각각 독립적으로 구동하도록 전극 패턴이 배치되는 것을 특징으로 하는 단일벽 나노튜브를 이용한 기체 센서.청구항 6 또는 7에 있어서, 상기 전극 패턴은 소정의 미세선폭을 갖는 두 전극의 첨단부가 서로 마주보는 형태가 되는 구조인 것을 특징으로 하는 단일벽 나노튜브를 이용한 기체 센서,청구항 8에 있어서, 상기 서로 마주보는 두 전극의 첨단부는 선폭이 0.002mm 이하이고 서로 마주대하는 전극의 접촉부분의 폭이 0.002mm 이하인 것을 특징으로 단일벽 나노튜브를 이용한 기체 센서.