초록 ▼

제품의 수율을 향상시키기 위한 웨이퍼 이송 장치를 개시한다. 웨이퍼 이송 장치는 웨이퍼가 안착되는 메인 암 및 웨이퍼의 로딩 및 언로딩 시 웨이퍼의 위치를 가이드하는 서브 암을 구비한다. 웨이퍼의 로딩 또는 언로딩 시, 서브 암은 수납 용기의 다수의 지지부 중에서 웨이퍼가 로딩 또는 언로딩될 위치에 대응하는 지지부의 양 단부와 서로 접촉된다. 즉, 서브 암의 위치가 고정되므로, 웨이퍼 이송 장치가 수납 용기의 부적절한 지점에 위치함에 따라 발생되는 웨이퍼간의 마찰을 방지할 수 있다. 이에 따라, 웨이퍼 이송 장치는 로딩 또는 언로딩

제품의 수율을 향상시키기 위한 웨이퍼 이송 장치를 개시한다. 웨이퍼 이송 장치는 웨이퍼가 안착되는 메인 암 및 웨이퍼의 로딩 및 언로딩 시 웨이퍼의 위치를 가이드하는 서브 암을 구비한다. 웨이퍼의 로딩 또는 언로딩 시, 서브 암은 수납 용기의 다수의 지지부 중에서 웨이퍼가 로딩 또는 언로딩될 위치에 대응하는 지지부의 양 단부와 서로 접촉된다. 즉, 서브 암의 위치가 고정되므로, 웨이퍼 이송 장치가 수납 용기의 부적절한 지점에 위치함에 따라 발생되는 웨이퍼간의 마찰을 방지할 수 있다. 이에 따라, 웨이퍼 이송 장치는 로딩 또는 언로딩시 웨이퍼가 손상되는 것을 방지할 수 있고, 제품의 수율을 향상시킬 수 있다.

대표청구항 ▼

웨이퍼의 에지 영역을 지지하는 지지부를 갖고 상기 웨이퍼를 수납하기 위한 수납 용기로부터 상기 웨이퍼를 로딩 또는 언로딩하기 위한 웨이퍼 이송용 장치에 있어서,상기 웨이퍼를 지지하는 메인 암| 및상기 메인 암과 결합하고, 상기 웨이퍼의 에지 영역을 부분적으로 둘러싸며, 상기 웨이퍼를 상기 수납 용기로 로딩 또는 언로딩 시, 양 단부가 상기 지지부의 양 단부와 서로 맞닿아 상기 웨이퍼의 위치를 가이드하는 서브 암을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 장치.제1항에 있어서, 상기 서브 암은 상기 웨이퍼의 에지 영역을 부분적으로 지

웨이퍼의 에지 영역을 지지하는 지지부를 갖고 상기 웨이퍼를 수납하기 위한 수납 용기로부터 상기 웨이퍼를 로딩 또는 언로딩하기 위한 웨이퍼 이송용 장치에 있어서,상기 웨이퍼를 지지하는 메인 암| 및상기 메인 암과 결합하고, 상기 웨이퍼의 에지 영역을 부분적으로 둘러싸며, 상기 웨이퍼를 상기 수납 용기로 로딩 또는 언로딩 시, 양 단부가 상기 지지부의 양 단부와 서로 맞닿아 상기 웨이퍼의 위치를 가이드하는 서브 암을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 장치.제1항에 있어서, 상기 서브 암은 상기 웨이퍼의 에지 영역을 부분적으로 지지하기 위한 돌기를 갖는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 장치.제1항에 있어서,상기 웨이퍼가 안착되는 상기 메인 암의 제1 단부와 대향하는 제2 단부를 둘러싼 몸체부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 장치.제3항에 있어서, 상기 몸체부는 상기 몸체부의 길이 방향으로 연장되어 형성된 이동홀을 갖고,상기 메인 암은 상기 제2 단부에 위치하고, 상기 메인 암의 표면으로부터 돌출되어 형성되며, 상기 이동홀을 관통하여 상기 몸체부의 외부로 노출되는 이동 돌기를 갖는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 장치.제4항에 있어서, 상기 이동 돌기는 상기 이동홀의 길이 방향으로 이동하여 상기 몸체부의 외부로 노출되는 상기 메인 암의 길이 조절하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 장치.제1항에 있어서, 상기 메인 암은 상기 웨이퍼와 접하는 면에 형성되어 상기 웨이퍼가 상기 메인 암에 흡착되도록 진공압을 유입하기 위한 흡착홈을 갖는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 장치.