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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2005-0106030 (2005-11-07) |
공개번호 | 10-2007-0048937 (2007-05-10) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020050106030 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 취하(심사미청구) |
법적상태 | 취하 |
본 발명은 반도체 소자의 제조에 사용되는 웨이퍼 이송 장치에 관한 것으로, 본 발명에 따른 웨이퍼 이송 장치는 내측에 웨이퍼를 수용하는 공간을 가지는 핸드부, 상기 핸드부를 동작하는 아암부, 상기 핸드부의 내측에 배치되어, 웨이퍼의 가장자리 일부를 지지하는 웨이퍼 가이드를 포함하되, 상기 웨이퍼 가이드는 웨이퍼 이송 장치의 핸드부에 결합 및 고정되는 브라켓, 그리고 상기 브라켓으로부터 탈착가능하도록 제작되고, 상기 브라켓에 체결되어 상부면에 웨이퍼를 안착시키는 가이드부를 포함한다. 그리하여, 본 발명에 따른 웨이퍼 이송 장치는 웨이
웨이퍼를 이송하는 장치에 있어서,내측에 웨이퍼를 수용하는 공간을 가지는 핸드부와|상기 핸드부를 동작하는 아암부와|상기 핸드부의 내측에 배치되어, 웨이퍼의 가장자리 일부를 지지하는 적어도 하나의 웨이퍼 가이드를 포함하되|상기 웨이퍼 가이드는,웨이퍼 이송 장치의 핸드부에 결합 및 고정되는 브라켓과|상기 브라켓으로부터 탈착가능하도록 제작되고, 상기 브라켓에 체결되어 상부면에 웨이퍼의 가장자리 일부를 안착시키는 가이드부를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 장치.제 1 항에 있어서,상기 가이드부는,상기 브라켓과 체결하기 위한 체결부를
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