초록 ▼

본 발명은 웨이퍼의 평탄화공정에 사용되는 플래튼의 평탄도 상태를 확인하여 손쉽게 조절할 수 있는 플래튼 평탄도 조절장치에 관한 것으로, 웨이퍼 연마를 위해 상부면에 연마패드가 장착된 플래튼; 상기 플래튼의 하부면을 지지하는 플래튼바디; 상기 플래튼의 하부면을 플래튼바디의 상부면으로부터 이격시킴으로써 플래튼의 평탄도를 조절할 수 있는 높이조절수단; 으로 이루어진 것을 특징으로 함으로써, 플래튼의 평탄도를 손쉽게 조절하여 수율을 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라 높이조절을 눈으로 확인할 수 있어 편리하고 정확한 편평도 조절이 가능한 효과가

본 발명은 웨이퍼의 평탄화공정에 사용되는 플래튼의 평탄도 상태를 확인하여 손쉽게 조절할 수 있는 플래튼 평탄도 조절장치에 관한 것으로, 웨이퍼 연마를 위해 상부면에 연마패드가 장착된 플래튼; 상기 플래튼의 하부면을 지지하는 플래튼바디; 상기 플래튼의 하부면을 플래튼바디의 상부면으로부터 이격시킴으로써 플래튼의 평탄도를 조절할 수 있는 높이조절수단; 으로 이루어진 것을 특징으로 함으로써, 플래튼의 평탄도를 손쉽게 조절하여 수율을 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라 높이조절을 눈으로 확인할 수 있어 편리하고 정확한 편평도 조절이 가능한 효과가 있다.

대표청구항

웨이퍼 연마를 위해 상부면에 연마패드가 장착된 플래튼;상기 플래튼의 하부면을 지지하는 플래튼바디;상기 플래튼의 하부면을 플래튼바디의 상부면으로부터 이격시킴으로써 플래튼의 평탄도를 조절할 수 있는 높이조절수단;으로 이루어진 것을 특징으로 하는 플래튼 평탄도 조절장치.

웨이퍼 연마를 위해 상부면에 연마패드가 장착된 플래튼;상기 플래튼의 하부면을 지지하는 플래튼바디;상기 플래튼의 하부면을 플래튼바디의 상부면으로부터 이격시킴으로써 플래튼의 평탄도를 조절할 수 있는 높이조절수단;으로 이루어진 것을 특징으로 하는 플래튼 평탄도 조절장치.