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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2006-0073488 (2006-08-03) |
공개번호 | 10-2008-0012538 (2008-02-12) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020060073488 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 취하(심사미청구) |
법적상태 | 취하 |
면저항 측정 위치에 대한 공간적인 마진을 확보하고 다양한 셀 배치에 일률적으로 적용할 수 있는 면저항 측정 장치가 제공된다. 면저항 측정 장치는, 액정 표시 장치용 모기판이 놓여지는 스테이지와, 스테이지 상부에 배치되고, 면저항 측정을 위하여 일렬로 배열된 다수의 프로브가 설치된 헤드로서, 프로브의 배열 방향을 전환하도록 회전 가능한 헤드를 포함한다.
액정 표시 장치용 모기판이 놓여지는 스테이지; 및상기 스테이지 상부에 배치되고, 면저항 측정을 위하여 일렬로 배열된 다수의 프로브가 설치된 헤드로서, 상기 프로브의 배열 방향을 전환하도록 회전 가능한 헤드를 포함하는 면저항 측정 장치.
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