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| 국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
|---|---|
| 국제특허분류(IPC8판) |
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| 출원번호 | 10-2007-0014495 (2007-02-12) |
| 등록번호 | 10-0768882-0000 (2007-10-15) |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020070014495 |
| 발명자 / 주소 |
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| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2007-02-12) |
| 심사진행상태 | 등록결정(일반) |
| 법적상태 | 등록 |
반응 부산물이 실제로 포집될 수 있는 유효면적을 최대한 확보하여 반응부산물의 포집 효과 및 포집 용량을 증대시키며 포집된 반응부산물에 대해서는 용이하게 제거할 수 있는 개량된 반도체 반응부산물 트랩장치가 개시된다. 트랩장치는 중공의 하우징, 하우징의 일측에 제공되는 제1 연결구, 제1 연결구에 대하여 대향된 부위에 제공되는 제2 연결구, 및 하우징의 개방된 양단에 각각 결합되는 제1 측판과 제2 측판을 포함하는 하우징부재를 포함한다. 완충구획부재는 하우징의 제1 연결구 방향으로는 제1 챔버, 하우징의 제2 연결구 방향으로는 제2 챔
프로세스 챔버 내에서 박막의 증착 및 식각 과정에서 발생하는 반응 부산물을 포집하기 위한 반도체 반응부산물 트랩장치로서, 중공의 하우징, 상기 하우징의 일측에 제공되는 제1 연결구, 상기 제1 연결구에 대하여 대향된 부위에 제공되는 제2 연결구, 및 상기 하우징의 개방된 양단에 각각 결합되는 제1 측판과 제2 측판을 포함하는 하우징부재; 상기 하우징의 제1 연결구 방향으로는 제1 챔버, 상기 하우징의 제2 연결구 방향으로는 제2 챔버가 각각 형성되도록 상기 하우징의 내부에 수평하게 배치되되, 상기 제1 챔버와 제2 챔버에는 다수의
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