[특허]웨이퍼 이송 장치

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지능형 분석
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[한국특허] 웨이퍼 이송 장치 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)	H01L-021/68 H01L-021/67
출원번호	10-2007-0039467 (2007-04-23)
등록번호	10-0782294-0000 (2007-11-29)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020070039467
발명자 / 주소	고성근 / 경기 안산시 단원구 초지동 그린빌 단지 -* 김호식 / 경기 용인시 풍덕천동 ***번지 삼성차 아파트 *동 **호
출원인 / 주소	주식회사 아토 / 경기도 시흥시 정왕동 ***- 시화공단 다 **호
대리인 / 주소	이철희 (Lee, Cheol Hee) 서울 강남구 삼성동 *- 우경빌딩 ***호(가디언국제특허법률사무소)
심사청구여부	있음 (2007-04-23)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	소멸

초록 ▼

독립 구동 방식에 의하여 웨이퍼를 2장 단위로 동시에 이송할 수 있는 웨이퍼 이송 장치에 대하여 개시한다. 본 발명에 따른 웨이퍼 이송 장치의 일실시예는 서로 이격된 2개의 로봇을 구비하되, 상기 2개의 로봇 각각은, 복수의 아암이 순차적으로 결합되어 있으며 끝단에 서로 다른 높이로 2개의 웨이퍼 로딩용 슬롯이 결합되어 있는 아암부 및 상기 아암부를 구동하는 아암구동부를 구비하는 로봇부, 상기 로봇부를 지지하며, 주회전축이 결합되는 지지부 및 상기 주회전축을 통해서 상기 지지부를 회전시키는 주구동부를 구비하고, 상기 로봇부에 구비된

대표청구항

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특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

내보내기 메뉴
내보내기 구분	파일저장 인쇄 메일전송
구성항목	기본정보 상세정보 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표IPC 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 공고번호, 공고일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표출원인, 출원인국적, 출원인주소, 발명자, 발명자E, 발명자코드, 발명자주소, 발명자 우편번호, 발명자국적, 대표IPC, IPC코드, 요약, 미국특허분류, 대리인주소, 대리인코드, 대리인(한글), 대리인(영문), 국제공개일자, 국제공개번호, 국제출원일자, 국제출원번호, 우선권, 우선권주장일, 우선권국가, 우선권출원번호, 원출원일자, 원출원번호, 지정국, Citing Patents, Cited Patents
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