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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2007-0039467 (2007-04-23) |
등록번호 | 10-0782294-0000 (2007-11-29) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020070039467 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2007-04-23) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
독립 구동 방식에 의하여 웨이퍼를 2장 단위로 동시에 이송할 수 있는 웨이퍼 이송 장치에 대하여 개시한다. 본 발명에 따른 웨이퍼 이송 장치의 일실시예는 서로 이격된 2개의 로봇을 구비하되, 상기 2개의 로봇 각각은, 복수의 아암이 순차적으로 결합되어 있으며 끝단에 서로 다른 높이로 2개의 웨이퍼 로딩용 슬롯이 결합되어 있는 아암부 및 상기 아암부를 구동하는 아암구동부를 구비하는 로봇부, 상기 로봇부를 지지하며, 주회전축이 결합되는 지지부 및 상기 주회전축을 통해서 상기 지지부를 회전시키는 주구동부를 구비하고, 상기 로봇부에 구비된
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