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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2007-0135131 (2007-12-21) | |
공개번호 | 10-2009-0067455 (2009-06-25) | |
등록번호 | 10-1404009-0000 (2014-05-29) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020070135131 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2012-09-26) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 기판 안치대로부터 기판을 분리하는 리프트 핀 어셈블리에 관한 것으로, 기판 안치대의 리프트 핀 홀을 관통하는 리프트 핀 몸체; 상기 리프트 핀 몸체의 하부에 설치되며, 상기 리프트 핀 몸체와 연결되는 플레이트와 상기 리프트 핀 몸체의 외곽부와 대응되는 상기 플레이트의 하부에 설치되는 구름수단을 포함하는 위치보정수단;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
기판 안치대의 리프트 핀 홀을 관통하는 리프트 핀 몸체;상기 리프트 핀 몸체의 하부에 설치되며, 상기 리프트 핀 몸체와 연결되는 플레이트와 상기 리프트 핀 몸체의 외곽부와 대응되는 상기 플레이트의 하부에 설치되는 구름수단을 포함하는 위치보정수단을 포함하고,상기 위치보정수단의 상기 플레이트는, 상기 리프트 핀 몸체가 삽입되는 삽입구;상기 삽입구의 주위에서 상기 리프트 핀 몸체를 지지하는 지지체;상기 지지체와 연결되며, 상기 구름수단이 설치되는 접촉부재를 체결하기 위한 체결공;을 포함하는 것을 특징으로 하는 리프트 핀 어셈블리.
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