[특허]리프트 핀 구조체 및 이를 구비하는 기판 처리 장치

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리프트 핀 구조체 및 이를 구비하는 기판 처리 장치 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC9판)	H01L-021/683 H01L-021/687 H01L-021/027 H01L-021/08
출원번호	10-2008-0044534 (2008-05-14)
공개번호	10-2009-0118630 (2009-11-18)
등록번호	10-0968814-0000 (2010-07-01)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020080044534
발명자 / 주소	박종모 / 충청남도 천안시 신방동 초원아파트 *-*
출원인 / 주소	세메스 주식회사 / 충남 천안시 서북구 직산읍 모시리 ***
대리인 / 주소	권혁수; 송윤호; 오세준
심사청구여부	있음 (2008-05-14)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	등록

초록

본 발명은 리프트 핀 구조체 및 이를 구비하는 기판 처리 장치에 관한 것이다. 리프트 핀 구조체는 기판과 접촉되는 상부 핀과, 상부 핀의 하단부와 결합되는 하부 핀 및, 상부 핀과 하부 핀 사이에 제공되어, 안착된 기판의 하중을 감소시키는 완충부재를 포함한다. 이러한 리프트 핀 구조체를 구비하는 기판 처리 장치는 기판을 상하로 이동할 때, 리프트 핀에 안착되는 기판의 하중을 감소시켜서 기판의 손상을 방지할 수 있으며, 기판의 얼룩을 최소화할 수 있다.

대표청구항

리프트 핀 구조체에 있어서:기판과 접촉하여 상기 기판을 지지하는 상부 핀과;상기 상부 핀의 하단부와 결합되는 하부 핀 및;상기 상부 핀과 상기 하부 핀 사이에 제공되어, 상기 기판이 상기 상부 핀에 안착되면, 상기 기판의 하중을 감소시키는 완충부재를 포함하되;상기 하부 핀은 상단에 상기 상부 핀이 설치되는 체결홈을 구비하되;상기 완충부재는 상기 기판의 하중에 의해 상기 상부 핀이 상하로 이동되도록 상기 체결홈 내부에 설치되는 것을 특징으로 하는 리프트 핀 구조체.

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IPC 상위 출원인

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특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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