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| 국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
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| 국제특허분류(IPC9판) |
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| 출원번호 | 10-2008-0115772 (2008-11-20) |
| 공개번호 | 10-2010-0056795 (2010-05-28) |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020080115772 |
| 발명자 / 주소 | |
| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사진행상태 | 취하(심사미청구) |
| 법적상태 | 취하 |
듀얼 더블(dual double)방식으로 4개의 아암을 지녀 동시에 웨이퍼의 로딩 및 안로딩 속도 및 양을 증가시켜 작업성 및 생산성을 향상시킬 수 있는 웨이퍼 이송로봇이 제공된다. 그 웨이퍼 이송로봇은 웨이퍼 처리장치에 설치되며 액튜에이터를 구비하는 구동부; 구동부의 액튜에이터에 연계설치되며 웨이퍼를 이송하기 위한 제1상부아암; 그 제1상부아암과 이격된 구동부의 상부에 설치되며 웨이퍼를 이송하기 위한 제2상부아암; 그 제2상부아암과 이격된 구동부의 상부에 설치되며 웨이퍼를 이송하기 위한 제1하부아암; 및 제1하부아암과 이격된 구동
웨이퍼 처리장치에 설치되는 웨이퍼 이송로봇에 있어서, 상기 웨이퍼 처리장치에 설치되며 액튜에이터를 구비하는 구동부;상기 구동부의 액튜에이터에 연계설치되며 웨이퍼를 이송하기 위한 제1상부아암;상기 제1상부아암과 이격된 상기 구동부의 상부에 설치되며 웨이퍼를 이송하기 위한 제2상부아암;상기 제2상부아암과 이격된 상기 구동부의 상부에 설치되며 웨이퍼를 이송하기 위한 제1하부아암; 및상기 제1하부아암과 이격된 상기 구동부의 상부에 설치되며 웨이퍼를 이송하기 위한 제2하부아암을 포함하는 웨이퍼 이송로봇.
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