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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2008-0117589 (2008-11-25) |
공개번호 | 10-2010-0058984 (2010-06-04) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020080117589 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 취하(심사미청구) |
법적상태 | 취하 |
웨이퍼가 적재되는 블레이드에 웨이퍼 감지장치를 설치하여 항상 정확하게 웨이퍼의 적재여부를 판단할 수 있으며, 단일의 웨이퍼 감지장치만이 요구되어 비용을 절감할 수 있는 웨이퍼 이송로봇이 제공된다. 그 웨이퍼 이송로봇은 상기 웨이퍼 처리장치에 설치되며 액튜에이터를 구비하는 구동부; 구동부의 액튜에이터에 연결되어 회전 및 상하로 왕복 가능하게 설치되는 회전축과, 일단이 회전축에 회동가능하게 고정되는 제1아암부재와, 제1아암부재의 단부에 회동 가능하게 고정되는 제2아암부재와, 제2아암부재의 단부에 회동가능하게 고정되며 웨이퍼를 로딩 또는
웨이퍼 처리장치에 설치되는 웨이퍼 이송로봇에 있어서, 상기 웨이퍼 처리장치에 설치되며 액튜에이터를 구비하는 구동부;상기 구동부의 액튜에이터에 연결되어 회전 및 상하로 왕복 가능하게 설치되는 회전축과, 일단이 상기 회전축에 회동가능하게 고정되는 제1아암부재와, 상기 제1아암부재의 단부에 회동 가능하게 고정되는 제2아암부재와, 상기 제2아암부재의 단부에 회동가능하게 고정되며 웨이퍼를 로딩 또는 언로딩하기 위한 블레이드로 구성되는 아암; 및상기 아암의 블레이드에 웨이퍼의 적재 여부를 검출하기 위해 상기 블레이드에 설치되는 웨이퍼 감지장치
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