[특허]기판 이송 로봇 및 이를 갖는 기판 처리 시스템 그리고, 이의 티칭 방법

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[한국특허] 기판 이송 로봇 및 이를 갖는 기판 처리 시스템 그리고, 이의 티칭 방법
SUBSTRATE TRANSFER ROBOT AND SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM HAVING THE SAME AND METHOD FOR TEACHING THE SAME 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/공개특허
국제특허분류(IPC9판)	H01L-021/677 H01L-021/68 B25J-009/16
출원번호	10-2008-0127296 (2008-12-15)
공개번호	10-2010-0068816 (2010-06-24)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020080127296
발명자 / 주소	주광술 / 서울특별시 강서구 화곡동 우신아파트 -** 박문수 / 경기도 안양시 만안구 안양동 삼성래미안아파트 - 고성근 / 경기도 안산시 단원구 초지동 그린빌주공단지 **-* 우정식 / 경기도 수원시 권선구 금곡동 LG빌리지 *-* 김영효 / 서울특별시 구로구 고척동 삼익아파트 -*
출원인 / 주소	주식회사 아토 / 경기도 시흥시 정왕동 ***- 시화공단 다 **호
대리인 / 주소	남승희
심사청구여부	있음 (2008-12-15)
심사진행상태	거절결정(일반)
법적상태	거절

초록 ▼

본 발명은 기판 이송 로봇 및 이를 갖는 기판 처리 시스템 그리고, 이의 티칭 방법에 관한 것으로, 상기 기판 이송 로봇을 회전시켜 상기 기판 이송 로봇 주변에 배치된 상기 기판 안치부 중심점의 X축 좌표와 Y축 좌표를 산출하고, 상기 기판 안치부의 중심점의 X축 및 Y축 좌표 점에서 상기 기판 이송 로봇을 승하강시켜 상기 기판 안치부 중심점의 Z축 좌표를 산출하고, 상기 기판 안치부 중심점의 X축, Y축 및 Z축 좌표를 이용하여 상기 이송 좌표를 산출할 수 있는 기판 이송 로봇 및 이를 갖는 기판 처리 시스템 그리고, 이의 티칭

대표청구항 ▼

이송 좌표를 따라 이동하여 그 주변에 배치된 기판 안치부 상에 기판을 이동시키는 기판 이송 로봇의 티칭 방법으로서, 상기 기판 이송 로봇을 회전시켜 상기 기판 이송 로봇 주변에 배치된 상기 기판 안치부 중심점의 X축 좌표와 Y축 좌표를 산출하는 단계;상기 기판 안치부의 중심점의 X축 및 Y축 좌표 점에 대하여 상기 기판 이송 로봇을 승하강시켜 상기 기판 안치부 중심점의 Z축 좌표를 산출하는 단계; 및상기 기판 안치부 중심점의 X축, Y축 및 Z축 좌표를 이용하여 상기 이송 좌표를 산출하는 단계를 포함하는 기판 이송 로봇의 티칭 방법

발명자의 다른 특허 :

이 특허에 인용된 특허 (1)

[일본] SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE AND METHOD FOR TEACHING ITS TRANSFERRING MACHINE | NAKAGAWA HITOSHI, OSHIMA MITSUHIRO
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특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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