초록 ▼

[과제] 아크 스폿이 캐소드 증발면 이외의 부분으로 이동하는 것을 억제할 수 있는 아크식 증발원을 제공한다.[해결수단] 자장에 의해 제어되는 아크 방전에 의해 캐소드(22)의 캐소드 물질을 증발시키는 아크식 증발원으로서, 캐소드 선단의 증발면(22a) 부근에 캐소드 중심축(Ax)에 평행한 성분이 강한 자장(M)을 형성하고, 또한 상기 캐소드의 외측에 배치되는 자장형성기구(42)와, 캐소드를 지지하는 지지기구(26)와, 캐소드를 냉각하는 냉각기구(61)와, 원추대 형상을 이루고 그 축방향으로 캐소드를 관통시키는 관통구멍을 갖고, 또한

[과제] 아크 스폿이 캐소드 증발면 이외의 부분으로 이동하는 것을 억제할 수 있는 아크식 증발원을 제공한다.[해결수단] 자장에 의해 제어되는 아크 방전에 의해 캐소드(22)의 캐소드 물질을 증발시키는 아크식 증발원으로서, 캐소드 선단의 증발면(22a) 부근에 캐소드 중심축(Ax)에 평행한 성분이 강한 자장(M)을 형성하고, 또한 상기 캐소드의 외측에 배치되는 자장형성기구(42)와, 캐소드를 지지하는 지지기구(26)와, 캐소드를 냉각하는 냉각기구(61)와, 원추대 형상을 이루고 그 축방향으로 캐소드를 관통시키는 관통구멍을 갖고, 또한 캐소드의 증발면을 향하여 끝이 가늘어지도록 배치되는 테이퍼 링(64)을 구비하고, 테이퍼 링은 강자성체로 이루어지며, 사용시에 테이퍼 링의 선단(64a)이 캐소드의 증발면과 동일 면 또는 증발면보다 다소 후퇴하도록 위치한다.

대표청구항 ▼

자장에 의해 제어되는 아크 방전에 의해 캐소드(cathode)의 캐소드 물질을 증발시키는 아크식 증발원으로서, 상기 캐소드와, 상기 캐소드 선단(先端)의 증발면 부근에 캐소드 중심축에 평행한 방향의 자장을 형성하고, 또한 상기 캐소드의 외측에 배치되는 자장형성기구와, 상기 캐소드를 지지하는 지지기구와, 상기 캐소드를 냉각하는 냉각기구와, 원추대 형상을 이루고 그 축방향으로 상기 캐소드를 관통시키는 관통구멍을 갖고, 또한 상기 캐소드의 증발면을 향하여 끝이 가늘어지도록 배치되는 테이퍼 링(taper ring)을 구비하고,상기 테이퍼

자장에 의해 제어되는 아크 방전에 의해 캐소드(cathode)의 캐소드 물질을 증발시키는 아크식 증발원으로서, 상기 캐소드와, 상기 캐소드 선단(先端)의 증발면 부근에 캐소드 중심축에 평행한 방향의 자장을 형성하고, 또한 상기 캐소드의 외측에 배치되는 자장형성기구와, 상기 캐소드를 지지하는 지지기구와, 상기 캐소드를 냉각하는 냉각기구와, 원추대 형상을 이루고 그 축방향으로 상기 캐소드를 관통시키는 관통구멍을 갖고, 또한 상기 캐소드의 증발면을 향하여 끝이 가늘어지도록 배치되는 테이퍼 링(taper ring)을 구비하고,상기 테이퍼 링은 강자성체로 이루어지고, 상기 캐소드는 강자성체가 아닌 도전성 재료로 이루어지며, 사용시에 상기 테이퍼 링의 선단이 상기 캐소드의 증발면과 동일면 또는 상기 증발면보다 후방에 위치하고, 상기 테이퍼 링과 간극을 형성하고, 상기 캐소드를 그 축방향으로 관통시키는 관통구멍을 갖는 상자성체(常磁性體)의 금속 또는 합금으로 이루어지고, 또한 주위와 전기적으로 절연된 링 형상의 커버를 구비하는 것을 특징으로 하는 아크식 증발원.