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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2010-0088359 (2010-09-09) |
공개번호 | 10-2012-0026244 (2012-03-19) |
등록번호 | 10-1150022-0000 (2012-05-18) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020100088359 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2010-09-09) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 에칭장치에 관한 것으로, 피처리 소재를 수평하게 이동시키는 이송롤러 및 상기 소재의 상부에 설치되어 에칭액을 분사하는 다수개의 에칭노즐을 포함하되, 상기 소재의 상부에는 공기를 분사하여 상기 에칭액을 외측으로 흘려보내는 에어노즐이 구비되고, 상기 소재의 양측단부에는 상기 에칭액을 흡입하여 제거하는 진공흡입유닛이 구비되어 소재 표면에 고이는 잔존 에칭액을 신속하게 제거할 수 있는 에칭장치를 제공한다.
피처리 소재를 수평하게 이동시키는 이솔롤러와;상기 소재의 상부에 설치되어 에칭액을 분사하는 다수개의 에칭노즐; 및상기 소재의 상부에 설치되어 공기를 분사함으로써 상기 에칭액을 외측으로 흘려보낼 수 있도록 하단부가 상기 소재의 중심으로부터 양측 방향으로 절곡되는 에어노즐;을 포함하여 구성되는 에칭장치.
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