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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2010-7027448 (2010-12-06) | |
공개번호 | 10-2011-0015607 (2011-02-16) | |
등록번호 | 10-1494593-0000 (2015-02-12) | |
우선권정보 | 미국(US) 12/142,640 (2008-06-19);미국(US) 61/126,611 (2008-05-05) | |
국제출원번호 | PCT/US2009/042713 (2009-05-04) | |
국제공개번호 | WO 2009/137405 (2009-11-12) | |
번역문제출일자 | 2010-12-06 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020107027448 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2013-01-16) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 소멸 |
가공물 지지 페데스탈은 가공물 지지면을 가지는 절연 퍽, 퍽 아래 배치되는 전도성 판, 및 전도성 판 아래 배치되는 축방향으로 이동가능한 동축 RF 경로 조립체를 포함하며 퍽은 전기적 유틸리티 및 열적 매체 채널을 포함한다.동축 RF 경로 조립체는 중앙 도체, 접지된 외부 도체 및 중앙 도체 및 외부 도체를 분리시키는 관형 절연체를 포함하여, 퍽, 전도성 판 및 동축 RF 경로 조립체는 축방향 운동이 리프트 서보에 의해 결정되는 가동 조립체를 구성한다.복수의 도관은 중앙 도체를 통하여 축방향으로 연장하고 열적 매체 유틸리티에 결합된
플라즈마 반응기 챔버 내에서 이용하기 위한 가공물 지지 페데스탈(pedestal)로서,(A) 가공물 지지면을 가지는 절연 퍽(puck);(B) 상기 퍽 아래에 배치되는 전도성 판으로서, 상기 퍽이 전기적 유틸리티(utility) 및 열적 매체 채널을 포함하는, 전도성 판;(C) 상기 전도성 판 아래에 배치되고, 중앙 도체, 접지된 외부 도체, 및 상기 중앙 도체와 상기 외부 도체를 분리하는 관형 절연체를 포함하는, 축방향으로 이동가능한(translatable) 동축 RF 경로 조립체;(D) 상기 동축 RF 경로 조립체의 축방향 이동
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