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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2012-7014754 (2012-06-07) | |
공개번호 | 10-2013-0137070 (2013-12-16) | |
등록번호 | 10-1858265-0000 (2018-05-09) | |
우선권정보 | 미국(US) 12/962,524 (2010-12-07) | |
국제출원번호 | PCT/US2011/063422 (2011-12-06) | |
국제공개번호 | WO 2012/078569 (2012-06-14) | |
번역문제출일자 | 2012-06-07 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020127014754 | |
발명자 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2016-11-30) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
RF 전압 신호로부터 유도된 웨이퍼 바이어스 정보를 이용하여 플라즈마 프로세싱 시스템을 제어하는 방법을 제안한다. 아날로그 또는 디지털 방법론을 통해 RF 전압이 프로세싱되어 적어도 기본 주파수들 각각과 광대역 주파수에 대한 피크 전압 정보를 획득한다. 그 후에, 웨이퍼 바이어스 정보를 유도하기 위해 피크 전압 정보가 채용되어 플라즈마 프로세싱 시스템의 하드웨어/소프트웨어에 대한 피드백 또는 제어 신호로서 기능한다.
플라즈마 프로세싱 시스템을 제어하는 방법으로서,챔버의 적어도 하나의 컴포넌트로부터 RF 신호를 수신하는 단계;상기 RF 신호의 광대역 주파수 및 기본 주파수 각각에 대한 피크 전압 정보를 획득하기 위해 상기 RF 신호를 디지털 도메인에서 프로세싱하는 단계로서, 상기 프로세싱하는 단계는 상기 RF 신호를 상기 광대역 주파수 및 상기 기본 주파수 각각에 대응하는 DC 신호들로 컨버팅하는 단계를 포함하는, 상기 프로세싱하는 단계; 및상기 피크 전압 정보로부터 웨이퍼 바이어스 정보를 유도하는 단계를 포함하고,상기 웨이퍼 바이어스 정보는,
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