초록 ▼

가공물 지지 페데스탈은 가공물 지지면을 가지는 절연 퍽, 퍽 아래 배치되는 전도성 판, 및 전도성 판 아래 배치되는 축방향으로 이동가능한 동축 RF 경로 조립체를 포함하며 퍽은 전기적 유틸리티 및 열적 매체 채널을 포함한다.동축 RF 경로 조립체는 중앙 도체, 접지된 외부 도체 및 중앙 도체 및 외부 도체를 분리시키는 관형 절연체를 포함하여, 퍽, 전도성 판 및 동축 RF 경로 조립체는 축방향 운동이 리프트 서보에 의해 결정되는 가동 조립체를 구성한다.복수의 도관은 중앙 도체를 통하여 축방향으로 연장하고 열적 매체 유틸리티에 결합된

가공물 지지 페데스탈은 가공물 지지면을 가지는 절연 퍽, 퍽 아래 배치되는 전도성 판, 및 전도성 판 아래 배치되는 축방향으로 이동가능한 동축 RF 경로 조립체를 포함하며 퍽은 전기적 유틸리티 및 열적 매체 채널을 포함한다.동축 RF 경로 조립체는 중앙 도체, 접지된 외부 도체 및 중앙 도체 및 외부 도체를 분리시키는 관형 절연체를 포함하여, 퍽, 전도성 판 및 동축 RF 경로 조립체는 축방향 운동이 리프트 서보에 의해 결정되는 가동 조립체를 구성한다.복수의 도관은 중앙 도체를 통하여 축방향으로 연장하고 열적 매체 유틸리티에 결합된다.복수의 도체는 관형 절연체를 통하여 방사상으로 연장하고 전기적 유틸리티에 연결된다.

대표청구항 ▼

플라즈마 반응기 챔버 내에서 이용하기 위한 가공물 지지 페데스탈(pedestal)로서,(A) 가공물 지지면을 가지는 절연 퍽(puck);(B) 상기 퍽 아래에 배치되는 전도성 판으로서, 상기 퍽이 전기적 유틸리티(utility) 및 열적 매체 채널을 포함하는, 전도성 판;(C) 상기 전도성 판 아래에 배치되고, 중앙 도체, 접지된 외부 도체, 및 상기 중앙 도체와 상기 외부 도체를 분리하는 관형 절연체를 포함하는, 축방향으로 이동가능한(translatable) 동축 RF 경로 조립체;(D) 상기 동축 RF 경로 조립체의 축방향 이동

플라즈마 반응기 챔버 내에서 이용하기 위한 가공물 지지 페데스탈(pedestal)로서,(A) 가공물 지지면을 가지는 절연 퍽(puck);(B) 상기 퍽 아래에 배치되는 전도성 판으로서, 상기 퍽이 전기적 유틸리티(utility) 및 열적 매체 채널을 포함하는, 전도성 판;(C) 상기 전도성 판 아래에 배치되고, 중앙 도체, 접지된 외부 도체, 및 상기 중앙 도체와 상기 외부 도체를 분리하는 관형 절연체를 포함하는, 축방향으로 이동가능한(translatable) 동축 RF 경로 조립체;(D) 상기 동축 RF 경로 조립체의 축방향 이동을 위해 상기 동축 RF 경로 조립체에 결합되는 리프트 서보(lift servo);(F) 상기 중앙 도체를 통하여 축방향으로 연장하고 열적 매체 유틸리티에 결합되는 복수의 도관;(G) 상기 관형 절연체를 통하여 축방향으로 연장하고 상기 전기적 유틸리티에 연결되는 복수의 전기 전도체를 포함하며,상기 절연 퍽, 전도성 판 및 동축 RF 경로 조립체는 가동(movable) 조립체를 구성하고,상기 열적 매체 유틸리티는 상기 가공물 지지면 내의 가스 유동 채널을 포함하며, 상기 복수의 도관은 상기 가스 유동 채널에 결합되는 가스 공급 및 회수 도관을 포함하며,상기 전기적 유틸리티는 척킹 전극 및 동심인 내부 및 외부 가열 요소를 포함하며, 상기 전기 전도체는 상기 척킹 전극에 연결되는 D.C. 공급 도체, 상기 내부 가열 요소에 결합되는 제 1 쌍의 A.C. 도체 및 상기 외부 가열 요소에 결합되는 제 2 쌍의 A.C. 도체를 포함하는,가공물 지지 페데스탈.