초록

본 발명의 일실시예에 따른 4 포인트 프로브(Four Point Probe)는 하나 이상의 탐침; 상기 하나 이상의 탐침에 각각 압입(pressing in)되는 탄성소자; 및 상기 하나 이상의 탄성소자와 물리적으로 연결되는 하나 이상의 메인 홀(main hole) 및 상기 하나 이상의 메인 홀과 각각 전기적으로 연결되는 하나 이상의 서브 홀(sub hole)을 포함하는 기판을 포함한다.

대표청구항

텅스텐카바이드 소재로 이루어진 하나 이상의 탐침;상기 하나 이상의 탐침에 각각 압입(pressing in)되고, 전도성 코일압축 스프링의 형상을 갖는 탄성소자; 및상기 하나 이상의 탄성소자와 각각 전기적으로 연결되고 서로 절연상태를 유지하는 하나 이상의 메인 홀(main hole)과, 상기 하나 이상의 메인 홀과 각각 전기적으로 연결되며 각각의 전선과 연결되는 하나 이상의 서브 홀(sub hole)을 포함하는 기판을 포함하는 것을 특징으로 하는 4 포인트 프로브(Four Point Probe).

텅스텐카바이드 소재로 이루어진 하나 이상의 탐침;상기 하나 이상의 탐침에 각각 압입(pressing in)되고, 전도성 코일압축 스프링의 형상을 갖는 탄성소자; 및상기 하나 이상의 탄성소자와 각각 전기적으로 연결되고 서로 절연상태를 유지하는 하나 이상의 메인 홀(main hole)과, 상기 하나 이상의 메인 홀과 각각 전기적으로 연결되며 각각의 전선과 연결되는 하나 이상의 서브 홀(sub hole)을 포함하는 기판을 포함하는 것을 특징으로 하는 4 포인트 프로브(Four Point Probe).