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연합인증

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[한국특허] 버퍼 챔버 및 이를 이용한 대상물의 이송 방법
Buffer chamber and method of transferring workpiece using the same
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IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • H01L-021/677
  • B65G-049/06
  • G02F-001/13
출원번호 10-2017-0153328 (2017-11-16)
공개번호 10-2017-0128199 (2017-11-22)
등록번호 10-1864873-0000 (2018-05-30)
DOI http://doi.org/10.8080/1020170153328
발명자 / 주소
  • 문성철 / 경기도 군포시 송부로***번길 **, ***동 ***호
  • 변주순 / 경기도 오산시 경기대로 **-*, ***동 ****호
출원인 / 주소
  • 주식회사 원익아이피에스 / 경기도 평택시 진위면 진위산단로 ** ()
대리인 / 주소
  • 김남식; 이인행
심사청구여부 있음 (2017-11-16)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 등록

초록

버퍼 챔버가 제공된다. 본 발명의 일 관점에 따른 버퍼 챔버는, 일측에 대상물 투입구가 형성되며 타측에 대상물 배출구가 형성되는 챔버 몸체를 포함한다. 승하강 장치는 상기 대상물 투입구를 통해 투입된 대상물의 투입 높이에서 상기 대상물 배출구를 통해 배출되는 대상물의 배출 높이까지 상기 대상물을 승하강시키도록 상기 챔버 몸체에 결합된다. 이송 장치는 상기 대상물 투입구에서 상기 대상물 배출구까지 상기 대상물을 이송시키고, 상기 대상물과 그 이웃하는 대상물 간의 거리를 제어하도록 구동된다.

대표청구항

일측에 대상물 투입구가 형성되며 타측에 대상물 배출구가 형성되는 챔버 몸체;상기 대상물 투입구를 통해 투입된 대상물의 투입 높이에서 상기 대상물 배출구를 통해 배출되는 대상물의 배출 높이까지 상기 대상물을 승하강시키도록 상기 챔버 몸체에 결합된 승하강 장치; 및상기 대상물 투입구에서 상기 대상물 배출구까지 상기 대상물을 이송시키고, 상기 대상물과 그 이웃하는 대상물 간의 거리를 제어하도록 구동되는, 이송 장치;를 포함하고,상기 이송 장치는,상기 대상물 투입구 및 상기 대상물 배출구 사이에 설치된 제 1 이송부;상기 제 1 이송부 및

발명자의 다른 특허 :

이 특허에 인용된 특허 (3)

  1. [한국] 기판 이송 스피드 버퍼 챔버를 적용한 선형 증착시스템 | 정광호, 최명운, 김형민, 전옥철
  2. [한국] 기판 처리장치 | 백운영
  3. [한국] 기판 처리 장치 | 라성민, 김선욱, 박일흥
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