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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2012-0066422 (2012-06-20) | |
공개번호 | 10-2013-0142846 (2013-12-30) | |
등록번호 | 10-1812627-0000 (2017-12-20) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020120066422 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2016-06-07) | |
심사진행상태 | 등록결정(재심사후) | |
법적상태 | 등록 |
스피드 버퍼, 이를 포함하는 연속 기판 처리 시스템 및 그 제어 방법이 개시된다.본 발명의 일 실시예에 의한 스피드 버퍼는 반입되는 기판을 제 1 방향으로 이송하여 반출하는 스피드 버퍼로서, 기판의 반입 여부를 검출하는 제 1 센서, 스피드 버퍼 내에서 이송 중인 기판의 위치를 검출하는 제 2 센서 및 선발 기판이 스피드 버퍼로부터 완전히 반출되기 전 후발 기판과 선발 기판이 목표 간격을 갖도록 결정되는 후발 기판의 이송 속도에 응답하여, 후발 기판을 이송하는 롤러의 회전 속도를 제어하는 드라이버를 포함할 수 있다.
반입되는 기판을 제 1 방향으로 이송하여 반출하는 스피드 버퍼로서,상기 기판의 반입 여부를 검출하는 제 1 센서;상기 스피드 버퍼 내에서 이송 중인 기판의 위치를 검출하는 제 2 센서; 및선발 기판이 상기 스피드 버퍼로부터 완전히 반출될 때까지의 잔여 시간 내에 후발 기판과 상기 선발 기판이 목표 간격을 갖도록 결정되는 후발 기판의 이송 속도에 응답하여, 상기 후발 기판을 이송하는 롤러의 회전 속도를 제어하는 드라이버;를 포함하고,상기 잔여 시간은, 상기 선발 기판의 위치 및 상기 선발 기판의 이송 속도에 기초하여 예측되는 스피드
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