[특허]기판 처리 장치 및 기판 처리 장치의 변형 감지방법과 기판 이송로봇의 제어 방법

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[한국특허] 기판 처리 장치 및 기판 처리 장치의 변형 감지방법과 기판 이송로봇의 제어 방법
SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND METHOD FOR INSPECTING DEFORMATION OF SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND METHOD FOR CONTROLLING SUBSTRATE TRANSFER ROBOT 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/공개특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	H01L-021/677 H01L-021/02 H01L-021/3065 H01L-021/67 H01L-021/683 H05H-001/46
출원번호	10-2016-0173940 (2016-12-19)
공개번호	10-2018-0071117 (2018-06-27)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020160173940
발명자 / 주소	황희 / 경기도 평택시 진위면 진위산단로 허필웅 / 경기도 오산시 대원로 운암주공단지아파트 동 호 백춘금 / 경기도 평택시 경기대로 ** 우미이노스빌차 동 호 박종오 / 경기도 오산시 대호로 *호
출원인 / 주소	주식회사 원익아이피에스 / 경기도 평택시 진위면 진위산단로 ** ()
대리인 / 주소	김준영
심사진행상태	취하(심사미청구)
법적상태	취하

초록 ▼

본 발명은 기판 처리 장치 및 기판 처리 장치의 변형 감지방법과 기판 이송유닛의 제어 방법에 관한 것으로, 기판 처리 장치는, 기판이 처리되는 처리유닛과, 처리유닛의 외측에 배치되며, 기판을 이송하는 이송로봇을 구비하는 이송유닛과, 이송유닛에 대한 처리유닛의 상대 변위량을 감지하는 변위감지부와, 변위감지부에서 감지된 상대 변위량에 기초하여 처리유닛의 위치를 검출하는 위치검출부와, 위치검출부에서 검출된 처리유닛의 위치에 따라 이송로봇을 티칭(teaching)하는 티칭제어부를 포함하는 것에 의하여, 처리유닛의 위치 변화를 정확하게 감지

대표청구항

기판 처리 장치로서,기판이 처리되는 처리유닛과;상기 처리유닛의 외측에 배치되며, 상기 기판을 이송하는 이송로봇을 구비하는 이송유닛과;상기 이송유닛에 대한 상기 처리유닛의 상대 변위량을 감지하는 변위감지부와;상기 변위감지부에서 감지된 상기 상대 변위량에 기초하여 상기 처리유닛의 위치를 검출하는 위치검출부와;상기 위치검출부에서 검출된 상기 처리유닛의 위치에 따라 상기 이송로봇을 티칭(teaching)하는 티칭제어부를;포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.

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특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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구성항목	기본정보 상세정보 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표IPC 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 공고번호, 공고일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표출원인, 출원인국적, 출원인주소, 발명자, 발명자E, 발명자코드, 발명자주소, 발명자 우편번호, 발명자국적, 대표IPC, IPC코드, 요약, 미국특허분류, 대리인주소, 대리인코드, 대리인(한글), 대리인(영문), 국제공개일자, 국제공개번호, 국제출원일자, 국제출원번호, 우선권, 우선권주장일, 우선권국가, 우선권출원번호, 원출원일자, 원출원번호, 지정국, Citing Patents, Cited Patents
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