[특허]스피드 버퍼, 이를 포함하는 연속 기판 처리 시스템 및 그 제어 방법

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[한국특허] 스피드 버퍼, 이를 포함하는 연속 기판 처리 시스템 및 그 제어 방법
Speed Buffer, In-Line Type Substrate Processing System and Controlling Method Therefor 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	H01L-021/677 B65G-049/06 G02F-001/13 H01L-051/56
출원번호	10-2012-0066422 (2012-06-20)
공개번호	10-2013-0142846 (2013-12-30)
등록번호	10-1812627-0000 (2017-12-20)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020120066422
발명자 / 주소	박찬석 / 경기 용인시 수지구 풍덕천로 , 동 **호 (풍덕천동, 주공단지아파트) 유성관 / 경기 오산시 운암로 , 동 **호 (부산동, 운암주공단지아파트) 변무진 / 대구 달성군 화원읍 비슬로 **, 동 **호 (청구청탑맨션)
출원인 / 주소	주식회사 원익아이피에스 / 경기도 평택시 진위면 진위산단로 ** ()
대리인 / 주소	김성남
심사청구여부	있음 (2016-06-07)
심사진행상태	등록결정(재심사후)
법적상태	등록

초록

스피드 버퍼, 이를 포함하는 연속 기판 처리 시스템 및 그 제어 방법이 개시된다.본 발명의 일 실시예에 의한 스피드 버퍼는 반입되는 기판을 제 1 방향으로 이송하여 반출하는 스피드 버퍼로서, 기판의 반입 여부를 검출하는 제 1 센서, 스피드 버퍼 내에서 이송 중인 기판의 위치를 검출하는 제 2 센서 및 선발 기판이 스피드 버퍼로부터 완전히 반출되기 전 후발 기판과 선발 기판이 목표 간격을 갖도록 결정되는 후발 기판의 이송 속도에 응답하여, 후발 기판을 이송하는 롤러의 회전 속도를 제어하는 드라이버를 포함할 수 있다.

대표청구항 ▼

반입되는 기판을 제 1 방향으로 이송하여 반출하는 스피드 버퍼로서,상기 기판의 반입 여부를 검출하는 제 1 센서;상기 스피드 버퍼 내에서 이송 중인 기판의 위치를 검출하는 제 2 센서; 및선발 기판이 상기 스피드 버퍼로부터 완전히 반출될 때까지의 잔여 시간 내에 후발 기판과 상기 선발 기판이 목표 간격을 갖도록 결정되는 후발 기판의 이송 속도에 응답하여, 상기 후발 기판을 이송하는 롤러의 회전 속도를 제어하는 드라이버;를 포함하고,상기 잔여 시간은, 상기 선발 기판의 위치 및 상기 선발 기판의 이송 속도에 기초하여 예측되는 스피드

발명자의 다른 특허 :

이 특허에 인용된 특허 (2)

[한국] 기판 이송 스피드 버퍼 챔버를 적용한 선형 증착시스템 | 정광호, 최명운, 김형민, 전옥철
상세보기
[일본] EQUAL INTERVAL ALIGNMENT METHOD FOR CARRIED ARTICLE AND DEVICE | TSUJII MASAMICHI, HARADA HIROYOSHI, IOKU KATSUMI
상세보기

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특허 원문 보기

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IPC 상위 출원인

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특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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