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| 국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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| 국제특허분류(IPC8판) |
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| 출원번호 | 10-2013-0021401 (2013-02-27) | |
| 공개번호 | 10-2014-0106986 (2014-09-04) | |
| 등록번호 | 10-1468405-0000 (2014-11-27) | |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020130021401 | |
| 발명자 / 주소 | ||
| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2013-02-27) | |
| 심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
| 법적상태 | 등록 |
포토레지스트 패턴 측벽의 형상을 제어함으로써 상기 포토레지스트 패턴을 이용한 도금에 의해 최종적으로 얻어지는 새도우 마스크의 개구 측벽의 형상을 제어하여 개구 저면 방향의 유기발광디스플레이 기판상에 도포되는 유기발광재료의 균일한 도포가 이루어지도록 하고, 나아가 유기발광디스플레이 소자의 고해상도와 화질 개선을 달성하기 위한 새도우 마스크 제조방법, 그 새도우 마스크 및 이를 사용한 유기발광디스플레이 제조방법이 개시된다.
도금용 기판 표면에 포토레지스트 막을 형성하는 단계;상기 포토레지스트 막을 노광영역의 폭을 조정하여 n회(n≥2) 노광하는 단계;상기 포토레지스트 막을 현상하여 패턴 측벽이 제어된 형상을 갖는 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계; 및상기 포토레지스트 패턴에 의해 상기 도금용 기판상에 도금 공정을 진행함으로써 개구 측벽이 제어된 형상을 갖는 새도우 마스크 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 유기발광디스플레이용 새도우 마스크 제조 방법.
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