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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2013-0051773 (2013-05-08) | |
공개번호 | 10-2014-0132520 (2014-11-18) | |
등록번호 | 10-1480113-0000 (2014-12-31) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020130051773 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2013-05-24) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
유기 발광 소자를 제조하기 위하여 PECVD 공정에서 사용되는 마스크로서, 유리 기판과 열팽창율이 유사한 재질로 이루어지는 메탈 마스크, 그리고 메탈 마스크의 표면에 증착되고 불소계 세정제에 내식성을 갖는 식각 방지막을 포함한다.
유기 발광 소자를 제조하기 위하여 PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 공정에서 사용되는 마스크에 있어서,메탈 마스크;상기 메탈 마스크의 표면에 증착되고, 불소계 세정제에 내식성을 갖는 식각 방지막을 포함하는, 유기 발광 소자 제조용 마스크.
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